[发明专利]一种微型过滤器及声学设备

说明书

本发明公开了一种微型过滤器及声学设备，包括具有背腔的基底，以及设置在基底上且悬置在背腔上的膜层；所述膜层上具有排布的通孔，且所述膜层采用金属薄膜或者聚酰亚胺薄膜；所述基底采用光敏聚合物材料，并通过曝光、聚合工艺形成基底的形状。根据本公开的一个实施例，采用光敏聚合物制造基底，这使得制造过程变得容易；而且微型过滤器可以在晶圆上同时制作完成。

技术领域

本发明涉及微型过滤器，其可以是一种适用于声学设备的微型过滤器，以过滤粉尘、颗粒或/和水等不希望进入声学设备内部的物质。

背景技术

诸如笔记本电脑、平板电脑之类的便携式计算设备无处不在，诸如智能电话之类的便携式通信设备也是普遍存在的。然而，这些设备没有足够的空间来容纳相对较大的麦克风或扬声器。因此，麦克风和扬声器尺寸变得越来越紧凑并且尺寸减小。此外，这些便携式设置中的麦克风和扬声器通常需要靠近终端的相关声学输入或输出端口，使得颗粒和水容易进入麦克风、扬声器中，而造成这些声学设备的失效。

以前的设备中有时会部署过滤膜，以防止某些类型的碎屑进入组件中。不幸的是，这些滤波器往往会对麦克风的操作产生不利影响。例如，当使用这些先前的方法时，麦克风的性能有时会显着降低。由于性能下降，麦克风客户经常选择不在其应用中使用此类麦克风。

当制造过滤膜片时，普通金属薄膜具有应力极限。当普通金属薄膜的应力显示压缩而形成褶皱后，光学自动检测设备无法检测到压力。为了制造过滤芯片结构，在将合适的薄金属膜沉积到基板上时，需要获得低拉应力的膜。没有低拉伸应力的薄膜倾向于剥离、破裂、起皱或以其它方式从其基板上脱离，因此PB芯片在投入运行后不得不经常丢弃。

用于支撑薄膜的结构是必要的，尽管硅晶片或玻璃衬底已被用作支撑结构，但是存在难以处理材料，制造花费时间并且材料昂贵的问题。

发明内容

本发明的一个目的是提供一种微型过滤器的新技术方案。

根据本发明的第一方面，提供了一种微型过滤器，包括具有背腔的基底，以及设置在基底上且悬置在背腔上的膜层；所述膜层上具有排布的通孔，且所述膜层采用金属薄膜或者聚酰亚胺薄膜；所述基底采用光敏聚合物材料，并通过曝光、聚合工艺形成基底的形状。

可选地，所述基底采用环氧树脂或聚酰亚胺树脂。

可选地，所述环氧树脂、聚酰亚胺树脂选用干膜或液体型。

可选地，所述金属薄膜为非晶金属。

可选地，所述非晶金属为金属玻璃。

可选地，所述膜层上通孔的内径为1nm至100μm。

可选地，所述膜层上通孔的内径为5nm至10μm。

根据本发明的另一方面，还提供了一种声学设备，包括上述的微型过滤器。

可选地，所述声学设备为麦克风芯片。

可选地，所述声学设备为麦克风模组。

根据本公开的一个实施例，采用光敏聚合物制造基底，这使得制造过程变得容易；而且微型过滤器可以在晶圆上同时制作完成。

通过以下参照附图对本发明的示例性实施例的详细描述，本发明的其它特征及其优点将会变得清楚。

附图说明

被结合在说明书中并构成说明书的一部分的附图示出了本发明的实施例，并且连同其说明一起用于解释本发明的原理。

图1是本发明微型过滤器第一实施方式的剖视图。

图2是本发明微型过滤器第二实施方式的剖视图。

图3是本发明微型过滤器第二实施方式中另一视角的剖视图。