[发明专利]SO3标准气体制备装置及方法

权利要求书

1.一种SO₃标准气体制备装置，其特征在于，包括经管路顺次连接的气体混配装置(1)、气体加热装置(5)、汽化装置(13)、分解装置(15)、SO₃利用系统(16)、尾气吸收装置，还包括供液装置(9)，所述供液装置(9)也经管路与汽化装置(13)连接。

2.根据权利要求1所述的SO₃标准气体制备装置，其特征在于，所述供液装置(9)包括经管路顺次连接的硫酸储液罐(10)、供液泵(11)、第一流量计(94)，其中第一流量计(94)还经管路连接有汽化装置(13)。

3.根据权利要求1所述的SO₃标准气体制备装置，其特征在于，所述气体混配装置(1)包括经管路顺次连接的高压气瓶(2)、混气瓶(3)、第二流量计(41)，其中第二流量计(41)还经管路连接有气体加热装置(5)；其中高压气瓶(2)的出口处还安装有第三流量计(24)。

4.根据权利要求1所述的SO₃标准气体制备装置，其特征在于，所述气体加热装置(5)包括加热套(6)、温度探头(7)、温控仪(8)、石英管(12)，其中加热套(6)的内部套设有石英管(12)，温度探头(7)的一端置于石英管(12)内，温度探头(7)的另一端与温控仪(8)连接。

5.根据权利要求1所述的SO₃标准气体制备装置，其特征在于，所述汽化装置(13)包括加热套(6)、温度探头(7)、温控仪(8)、石英管(12)、锯齿板(14)，其中加热套(6)的内部套设有石英管(12)，温度探头(7)的一端置于石英管(12)内，温度探头(7)的另一端与温控仪(8)连接；其中石英管(12)底部还铺设有锯齿板(14)。

6.根据权利要求5所述的SO₃标准气体制备装置，其特征在于，所述锯齿板(14)倾斜布置，其中锯齿板(14)靠近供液装置(9)一端高于锯齿板(14)靠近分解装置(15)一端。

7.根据权利要求1所述的SO₃标准气体制备装置，其特征在于，所述分解装置(15)包括加热套(6)、温度探头(7)、温控仪(8)、石英管(12)，其中加热套(6)的内部套设有石英管(12)，温度探头(7)的一端置于石英管(12)内，温度探头(7)的另一端与温控仪(8)连接。

8.根据权利要求1所述的SO₃标准气体制备装置，其特征在于，所述尾气吸收装置包括冰浴槽(17)、一级碱液吸收装置(18)、二级碱液吸收装置(19)，所述一级碱液吸收装置(18)、二级碱液吸收装置(19)均置于冰浴槽(17)内，其中一级碱液吸收装置(18)经一根管路与SO₃利用系统(16)连接，一级碱液吸收装置(18)还经另一根管路与二级碱液吸收装置(19)连接，二级碱液吸收装置(19)经另一根管路与大气连通。

9.一种SO₃标准气体制备方法，采用权利要求1所述的SO₃标准气体制备装置，其特征在于，包括以下过程：供液装置(9)中的硫酸溶液滴至汽化装置(13)，同时气体混配装置(1)中的混配气体经气体加热装置(5)经加热后也进入汽化装置(13)，二者在汽化装置(13)中进行充分接触形成硫酸气体，后进入分解装置(15)形成SO₃标准气体，经SO₃利用系统(16)利用后被尾气吸收装置处理。

10.根据权利要求9所述的SO₃标准气体制备方法，其特征在于，气体加热装置(5)中的温度为150～200℃；汽化装置(13)中的温度为150～200℃；分解装置(15)中的温度为500～550℃。