[发明专利]像素级边缘效应的修正方法及终端设备

说明书

本发明适用于微电子器件温度检测技术领域，提供了一种像素级边缘效应的修正方法及终端设备，该方法包括：通过获取不同材料构成的被测件的多张图像；当不同图像上预设线段上相同位置的像素点读数不同时，控制热反射成像测温装置上的纳米位移台向像素点移动方向的反方向移动，直到所述不同图像上预设线段上相同位置的像素点读数相同，从而可以通过图像处理的方式使得X、Y两个方向的像素级位置变化引起的边缘效应得到修正，从而使被测件位置变化造成高温误差和低温误差得到了修正，可以提高的热反射测温准确度。

技术领域

本发明属于微电子器件温度检测技术领域，尤其涉及一种像素级边缘效应的修正方法及终端设备。

背景技术

当可见光照射在某种材料表面时，材料对可见光的反射率随材料温度变化而变化。材料对可见光的反射率变化量与材料表面的温度变化量呈线性关系，如公式其中，所述ΔR为反射率变化量；R_average为反射率的均值；ΔT为被测材料温度变化量，单位为K；C_TR为热反射率校准系数，单位为K^-1。由此可见，C_TR不同时即使测得相同的反射率变化量ΔR，计算得到的ΔT也必然不同。

一般热反射成像测温装置采用科研级CCD相机作为探测器，CCD相机是由很多成像单元组成的阵列式探测器。对于阵列式探测器的热反射成像测温装置会由于热膨胀、振动等原因造成该成像单元对应的材料及C_TR发生变化，热膨胀或振动引起的被测件表面不同材料交界处出现的异常结果一般称为边缘效应，然而现有技术并未给出如何修正边缘效应的方法，导致对被测件的测温结果造成很大影响。

发明内容

有鉴于此，本发明实施例提供了一种像素级边缘效应的修正方法及终端设备，以解决现有技术中被测件的测温结果准确度较低的问题。

本发明实施例的第一方面提供了一种像素级边缘效应的修正方法，包括：

获取不同材料构成的被测件的多张图像；所述多张图像为给所述被测件施加固定光强时热反射成像测温装置上的探测器拍摄的所述被测件的图像；

当不同图像上预设线段上相同位置的像素点读数不同时，控制热反射成像测温装置上的纳米位移台向像素点移动方向的反方向移动，直到所述不同图像上预设线段上相同位置的像素点读数相同。

在一实施例中，所述获取不同材料构成的被测件的多张图像，包括：

获取不同材料构成的被测件的第一张图像，并将所述第一张图像作为参考图像；

继续获取所述被测件的多张后续图像，并将所述后续图像作为对比图像。

在一实施例中，所述预设线段为预设直线段，所述预设直线段与图像上不同材料的边界线相交。

在一实施例中，在所述获取不同材料构成的被测件的多张图像之后，还包括：

提取所述参考图像上所述预设直线段上的各个像素点；以及提取所述对比图像上所述预设直线段上的各个像素点。

在一实施例中，所述当不同图像上预设线段上相同位置的像素点读数不同时，控制热反射成像测温装置上的纳米位移台向像素点移动方向的反方向移动，直到所述不同图像上预设线段上相同位置的像素点读数相同，包括：

当所述参考图像上所述预设直线段上的第一像素点与所述对比图像上所述预设直线段上相同位置的像素点读数不同时，控制热反射成像测温装置上的纳米位移台向像素点移动方向的反方向移动，直到所述参考图像上预设直线段上的第一像素点与所述对比图像上所述预设直线段上相同位置的像素点读数相同；

其中，所述第一像素点为所述预设直线段上的任一像素点。