[发明专利]一种透射率可调的二氧化钒复合薄膜及其制备方法

权利要求书

1.一种透射率可调的二氧化钒复合薄膜，其特征在于，包括掺杂二氧化钒薄膜和未掺杂二氧化钒薄膜，所述掺杂二氧化钒薄膜和未掺杂二氧化钒薄膜依次交替生长。

2.根据权利要求1所述透射率可调的二氧化钒复合薄膜，其特征在于，所述掺杂二氧化钒薄膜为掺钨二氧化钒薄膜。

3.根据权利要求2所述透射率可调的二氧化钒复合薄膜，其特征在于，所述掺钨二氧化钒薄膜的掺杂浓度为a，其中，0＜a≤2.5％。

4.根据权利要求1所述透射率可调的二氧化钒复合薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1：配制钒离子前驱液和钨离子前驱液；

步骤2：将钒离子前驱液与钨离子前驱液混合，得到混合溶液，其中，混合溶液中钨离子前驱液的质量百分含量为b，0＜b≤2.5％；

步骤3：清洗衬底；

步骤4：采用旋涂法将钒离子前驱液或步骤2配制的混合溶液旋涂在清洗后的衬底上；

步骤5：将步骤4旋涂处理后的衬底放入管式炉中，在氮氢混合气氛下进行热处理：升温至450℃保持120min，随后升温至500～510℃保持120min，反应结束后自然冷却至室温，然后取出样品，即可在衬底上得到未掺杂的单层二氧化钒薄膜或掺杂的单层二氧化钒薄膜；

步骤6：在去离子水中超声清洗步骤5制备的样品，然后用氮气吹干备用；

步骤7：在步骤6清洗后的样品表面旋涂步骤2配制的混合溶液或步骤1配制的钒离子前驱液；

步骤8：将步骤7旋涂处理后的样品放入管式炉中进行热处理，热处理条件与步骤5相同；

步骤9：重复步骤6到步骤8，交替生长掺杂与未掺杂的二氧化钒薄膜，制备得到所述二氧化钒复合薄膜。

5.根据权利要求4所述透射率可调的二氧化钒复合薄膜的制备方法，其特征在于，步骤4旋涂具体参数为：先以650～1000r/min的转速保持10～15s，然后以6000～8000r/min的转速保持35～45s。

6.根据权利要求4所述透射率可调的二氧化钒复合薄膜的制备方法，其特征在于，步骤5所述氮氢混合气中氮气的体积分数为1.5～2％。