[发明专利]一种基于Bex

权利要求书

1.一种基于Be_xZn_1-xO非晶薄膜的柔性深紫外光电探测器，其特征在于：所述探测器从下至上依次为透明柔性衬底、有源层、一对平行金属电极，所述有源层为Be_xZn_1-xO非晶薄膜，其中：0＜x＜1；所述有源层由Be、Zn和O元素组成，未掺杂其他金属元素。

2.根据权利要求1所述的基于Be_xZn_1-xO非晶薄膜的柔性深紫外光电探测器，其特征在于：所述透明柔性衬底材料为聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺、聚氯乙烯、聚醚酰亚胺或聚二甲基硅氧烷中的任一种。

3.根据权利要求1所述的基于Be_xZn_1-xO非晶薄膜的柔性深紫外光电探测器，其特征在于：所述有源层的厚度为100～200 nm。

4.根据权利要求1所述的基于Be_xZn_1-xO非晶薄膜的柔性深紫外光电探测器，其特征在于：所述平行金属电极的厚度为40～100 nm。

5.根据权利要求1所述的基于Be_xZn_1-xO非晶薄膜的柔性深紫外光电探测器，其特征在于：所述平行金属电极的间距为10～100 μm。

6.根据权利要求1所述的基于Be_xZn_1-xO非晶薄膜的柔性深紫外光电探测器，其特征在于：所述平行金属电极材料为Au、Ag、Pt或Al中的任一种。

7.权利要求1所述的基于Be_xZn_1-xO非晶薄膜的柔性深紫外光电探测器的制备方法，其特征在于：所述方法包括以下步骤：

（1）选择合适大小的柔性衬底，并对所述衬底进行清洁和干燥预处理；

（2）在预处理后的柔性衬底上表面制备Be_xZn_1-xO非晶薄膜层；

（3）在所述Be_xZn_1-xO非晶薄膜上表面制备平行金属电极。

8.根据权利要求7所述的基于Be_xZn_1-xO非晶薄膜的柔性深紫外光电探测器的制备方法，其特征在于：步骤（2）所述Be_xZn_1-xO非晶薄膜采用脉冲激光烧蚀沉积方法制得，具体工艺如下：利用Be_xZn_1-xO陶瓷作为靶材，控制衬底温度为0～52 °C，脉冲激光能量为300～400 mJ/Pulse，氧压为0～10 Pa，在预处理后的柔性衬底表面沉积形成Be_xZn_1-xO非晶薄膜。

9.根据权利要求8所述的基于Be_xZn_1-xO非晶薄膜的柔性深紫外光电探测器的制备方法，其特征在于：所述Be_xZn_1-xO陶瓷靶材是采用固相烧结法制得，具体方法如下：

按配比将ZnO、BeO粉体原料混合均匀，球磨、干燥后压成陶瓷圆片，然后置于管式炉中于1100～1400 °C条件下烧结2～5 h制得。

10.根据权利要求9所述的基于Be_xZn_1-xO非晶薄膜的柔性深紫外光电探测器的制备方法，其特征在于：所述ZnO、BeO粉体原料的摩尔比为90：10～20：80。