[发明专利]一种用于超高真空环境下的原子发生装置

权利要求书

1.一种用于超高真空环境下的原子发生装置，包括供气单元和加热单元，供气单元包括供气腔体，供气腔体上连通有导气管，其特征在于：所述加热单元包括设置于导气管的出气口处的加热丝，以使由导气管中出来的气体经过加热丝进行裂解成原子；所述加热丝为螺线管结构，且螺线管的中心孔正对导气管的出气口；所述加热单元还包括用于向加热丝供电的电源，电源采用程控电源；所述加热单元还包括壳体，壳体具有供导气管穿装的导气管穿装通道，导气管外设置有正极导电杆和负极导电杆，正极导电杆与电源正极导电连接，加热丝的两接线端电性连接于正极导电杆和负极导电杆之间，正极导电杆外套设有绝缘管以使其与导气管绝缘隔离，负极导电杆与导气管接触，导气管与壳体导电连接，壳体与电源负极导电连接同时壳体接地，以形成加热丝的导电回路。

2.根据权利要求1所述的原子发生装置，其特征在于：所述供气腔体上设置有导气单元，导气单元包括所述导气管和连接于供气腔体上的微泄漏阀门，导气管通过微泄漏阀门与供气腔体连通，微泄漏阀门采用流量可调式微泄漏阀门。

3.根据权利要求1所述的原子发生装置，其特征在于：所述供气单元还包括与供气腔体连接的气瓶，气瓶与供气腔体之间连通管路上设置有减压阀，供气腔体上设置有用于将其内部抽成真空的真空泵站，真空泵站与供气腔体之间的抽气管路上设置有调节阀。

4.根据权利要求1所述的原子发生装置，其特征在于：所述绝缘管和负极导电杆的外侧缠绕有铜丝以将正极导电杆和负极导电杆固定于导气管上。

5.根据权利要求1所述的原子发生装置，其特征在于：所述壳体上设置有陶瓷封埋电极，陶瓷封埋电极的两端分别与电源正极和正极导电杆导电连接。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的原子发生装置，其特征在于：该原子发生装置还包括用于盛放样品的超高真空腔体，超高真空腔体上设置有供导气管插入的导气管插入口，以使导气管的出气口正对超高真空腔体中的样品。

7.根据权利要求6所述的原子发生装置，其特征在于：所述超高真空腔体的腔体壁上还设置有供用于检测内部真空度的离子规安装的离子规连接口以及供用于检测加热丝温度的测温装置安装的温度检测装置连接口中的至少一个连接口。