[发明专利]一种基于直写式光刻机拼板模式下内层防呆的方法

权利要求书

1.一种基于直写式光刻机拼板模式下内层防呆的方法，其特征在于：在承载光刻机拼板的精密运动平台的台面上，设置卡槽；

包括以下步骤：

S100、设置两种形状不同的标识Mark，Mark-A和Mark-B；其中Mark-A为对位Mark，Mark-A设置在光刻机拼板板面的相邻两边，Mark-B为板卡序列号Mark，Mark-B设置在光刻机拼板板面的一边，所述Mark-A和Mark-B均设置在光刻机精密运动平台的台面卡槽里；

S200、根据台面所能容纳光刻机拼板的最大数量N，确定Mark-B的数量M；

S300、设置Mark-B的编码，将M个Mark B排列成不对称的形状；

S400、使用CCD对Mark-A和Mark-B进行图像采集；

S500、对于CCD采集到的一组Mark-B，一方面根据所设定的这一组Mark-B点的对应的编码规则，计算得到光刻机拼板对应的编号I；另一方面根据设定的不对称形状，判断是左右翻板还是上下翻板；

S600、对于CCD采集到的Mark-A，结合步骤500的翻板情况，确定镜像和形变；

S700、根据步骤S500识别到的光刻机拼板对应编号I，对相应编号的光刻拼板图形进行矫正处理；

其中，所述步骤S300设置Mark-B的编码，其中编码规则包括设定每个Mark-B代表二进制的一个bit，那么Mark-B的板卡序列号范围为0～(2^m–1)；其中，(2^m–1)大于等于N。

2.根据权利要求1所述的基于直写式光刻机拼板模式下内层防呆的方法，其特征在于：所述步骤S300设置Mark-B的编码，其中编码规则包括通过Mark-B的个数进行识别。

3.根据权利要求1所述的基于直写式光刻机拼板模式下内层防呆的方法，其特征在于：所述S600、结合步骤500的翻板情况，确定镜像和形变；具体包括结合步骤500的翻板情况，即左右翻板的话，对光刻拼板图形进行X方向镜像处理；上下翻板的话，对光刻拼板图形进行Y方向镜像处理。

4.根据权利要求1所述的基于直写式光刻机拼板模式下内层防呆的方法，其特征在于：所述Mark-A为十字Mark或圆形Mark。

5.根据权利要求1所述的基于直写式光刻机拼板模式下内层防呆的方法，其特征在于：所述Mark-B为十字Mark或圆形Mark。

6.根据权利要求3所述的基于直写式光刻机拼板模式下内层防呆的方法，其特征在于：所述步骤S300中将M个Mark B排列为L型。

7.根据权利要求1所述的基于直写式光刻机拼板模式下内层防呆的方法，其特征在于：所述步骤S700对相应编号的光刻拼板图形进行矫正处理，其中矫正处理包括旋转、涨缩、镜像、平移操作。