[发明专利]一种微纳颗粒沉积装置

权利要求书

1.一种微纳颗粒沉积装置，包括注射泵(1)、输液管(2)、盖玻片(3)、保护层(4)、微流体层(5)、悬浮液桥(6)、衬底(7)、位移台(8)和显微镜(9)，微流体层(5)包括微孔径(5-1)、微通道组(5-2)、主通道(5-3)和进液口(5-4)，xyz为三维坐标系，衬底(7)位于位移台(8)上，位移台(8)透光且能够三维移动，

其特征是：微流体层(5)上面覆盖有硅氧烷材料制成的厚度为2毫米的保护层(4)，保护层(4)的上面通过环氧树脂固定有盖玻片(3)，显微镜(9)位于位移台(8)下方的15厘米处，用于监测微孔径(5-1)与衬底(7)之间的悬浮液；衬底(7)表面具有微纳阵列(7-1)；微流体层(5)由SU-8树脂材料片通过微加工技术制成，进液口(5-4)、主通道(5-3)、微通道组(5-2)和微孔径(5-1)依次连通，进液口(5-4)通过输液管(2)连接至注射泵(1)，注射泵(1)将包含待沉积微粒的悬浮液依次通过输液管(2)、进液口(5-4)、主通道(5-3)和微通道组(5-2)，传输至微孔径(5-1)，微孔径(5-1)贯通微流体层(5)的上表面和下表面，微通道组(5-2)由三根截面均为长方形的微流体槽组成，主通道(5-3)是一根截面为长方形的微流体凹槽；衬底(7)位于微孔径(5-1)下方0.4毫米时，悬浮液能够从微孔径(5-1)滴下并在微流体层(5)与衬底(7)之间形成悬浮液桥(6)。

2.如权利要求1所述的一种微纳颗粒沉积装置，其特征是：微流体层(5)的长度为20毫米、宽度为15毫米、厚度为1毫米，微孔径(5-1)的长度为7毫米、宽度为0.7毫米，微通道组(5-2)的微流体槽截面均是高度为80微米、宽度为120微米，主通道(5-3)的长度为12毫米，主通道(5-3)的微流体凹槽截面的高度为80微米、宽度为160微米，进液口(5-4)的直径为900微米。

3.如权利要求1所述的一种微纳颗粒沉积装置，其特征是：微纳阵列(7-1)是直接在衬底(7)表面由微纳加工得到的结构。

4.如权利要求1所述的一种微纳颗粒沉积装置，其特征是：微纳阵列(7-1)是衬底(7)表面沉积的有序的分子结构的富勒烯分子团簇。

5.如权利要求1所述的一种微纳颗粒沉积装置，其特征是：微纳阵列(7-1)是衬底(7)表面沉积的有序的分子结构的有机大分子阵列。

6.如权利要求1所述的一种微纳颗粒沉积装置，其特征是：微流体层(5)具有一个进液口(5-4)，主通道(5-3)是直道。

7.如权利要求1所述的一种微纳颗粒沉积装置，其特征是：微流体层(5)具有两个进液口(5-4)。

8.如权利要求1所述的一种微纳颗粒沉积装置，其特征是：微流体层(5)具有长S形的主通道(5-3)。