[发明专利]一种金属氮化物合成设备在审
| 申请号： | 201910592992.4 | 申请日： | 2019-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN110285672A | 公开（公告）日： | 2019-09-27 |
| 发明（设计）人： | 杜文贵;秦军 | 申请（专利权）人： | 宁夏秦氏新材料有限公司 |
| 主分类号： | F27B14/04 | 分类号： | F27B14/04;F27B14/08;F27B14/14;F27B14/12 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 马莉 |
| 地址： | 753000 宁夏回族自治*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 金属氮化物 坩埚 上盖 合成设备 炉壳 保温层 法兰盘 耐火层 氮气 抽真空孔 焊接连接 合成工艺 间隔空间 空心圆柱 炉壳内壁 螺栓联接 供气孔 椭球形 内壁 直段 合成 配置 | ||
【权利要求书】：
1.一种金属氮化物合成设备，其中包括：
坩埚，其内部配置为进行金属氮化物合成，包括椭球形的底部，空心圆柱直段和法兰盘，三者之间通过焊接连接；
上盖，该上盖和坩埚法兰盘通过螺栓联接，所述上盖上设置有抽真空孔和氮气供气孔；
炉壳，包裹所述坩埚，坩埚与炉壳之间存在一间隔空间，所述炉壳的内壁上设置有保温层和耐火层，保温层位于炉壳内壁和耐火层之间。
2.根据权利要求1所述的金属氮化物合成设备，其中，所述上盖上部设有起吊环，用于向起吊环施加力后打开所述上盖。
3.根据权利要求1所述的金属氮化物合成设备，其中，所述上盖上还设有加强筋板。
4.根据权利要求1所述的金属氮化物合成设备，其中，所述保温层材料为硅酸盐纤维。
5.根据权利要求1所述的金属氮化物合成设备，其中，所述耐火层材料为多晶莫来石耐火纤维模块。
6.根据权利要求1所述的金属氮化物合成设备，其中，所述上盖上还设有水冷通道，以冷却上盖。
7.根据权利要求1所述的金属氮化物合成设备，其中，所述连接抽真空孔的管路上设置有真空表，所述连接氮气供气孔的管路上设置有流量计。
8.根据权利要求1所述的金属氮化物合成设备，其中，还包括：
燃气喷嘴，设置于所述间隔空间内，配置为通入燃气燃烧，以加热所述坩埚。
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