[发明专利]一种双面集成的单片体声波双工器

权利要求书

1.一种双面集成的单片体声波双工器，其特征在于，包括相互连接的发射带通滤波器(TX)、接收带通滤波器(RX)和阻抗匹配电路；其中：

该单片体声波双工器中间设置有一个衬底(201)，衬底(201)上下两面均刻蚀有凹槽状的空腔；发射带通滤波器(TX)和接收带通滤波器(RX)均包括多层电路元件，各层的电路元件依次进行沉积，使得发射带通滤波器(TX)和接收带通滤波器(RX)分别沉积在衬底(201)的上下两面。

2.根据权利要求1所述的双面集成的单片体声波双工器，其特征在于，衬底(201)上下两面的凸起位置沉积有支撑层(202)，空腔中沉积有牺牲层(A)；发射带通滤波器(TX)包括发射带通滤波器底电极(207)、发射带通滤波器压电薄膜(209)、发射带通滤波器顶电极(211)、发射带通滤波器负载层(213)和发射带通滤波器释放孔(215)；

发射带通滤波器底电极(207)沉积在支撑层(202)和牺牲层(203)的上方，且分别在两侧分为两个不接触的部分；两部分的发射带通滤波器底电极(207)上均沉积有发射带通滤波器压电薄膜(209)和发射带通滤波器顶电极(211)，其中一部分的发射带通滤波器底电极(207)上的发射带通滤波器顶电极(211)上还沉积有发射带通滤波器负载层(213)；发射带通滤波器释放孔(215)设置在垂直方向上，且穿过发射带通滤波器底电极(207)、发射带通滤波器压电薄膜(209)、发射带通滤波器顶电极(211)、发射带通滤波器负载层(213)。

3.根据权利要求2所述的双面集成的单片体声波双工器，其特征在于，发射带通滤波器(TX)包括多个串联的FBAR和多个并联的FBAR；其中：串联的FBAR包括：衬底(201)、空腔及衬底(201)上表面一侧的发射带通滤波器底电极(207)、发射带通滤波器压电薄膜(209)、发射带通滤波器顶电极(211)；并联的FBAR包括：衬底(201)、空腔及衬底(201)上表面另一侧的发射带通滤波器底电极(207)、发射带通滤波器压电薄膜(209)、发射带通滤波器顶电极(211)、发射带通滤波器负载层(213)。

4.根据权利要求2所述的双面集成的单片体声波双工器，其特征在于，接收带通滤波器(RX)包括接收带通滤波器底电极(208)、接收带通滤波器压电薄膜(210)、接收带通滤波器顶电极(212)、接收带通滤波器负载层(214)和接收带通滤波器释放孔(216)；

在设置接收带通滤波器(RX)的一个面上，支撑层(202)和牺牲层(A)上沉积有接收带通滤波器底电极(208)，接收带通滤波器底电极(208)为一个整体；接收带通滤波器底电极(208)两侧不接触的位置均分别沉积有接收带通滤波器压电薄膜(210)和接收带通滤波器顶电极(212)，其中一侧的接收带通滤波器顶电极(212)上还沉积有接收带通滤波器负载层(214)；接收带通滤波器释放孔(216)设置在垂直方向上，且穿过接收带通滤波器底电极(208)、接收带通滤波器压电薄膜(210)、接收带通滤波器顶电极(212)、接收带通滤波器负载层(214)。

5.根据权利要求4所述的双面集成的单片体声波双工器，其特征在于，接收带通滤波器(RX)一端连接接收端(121)，另一端连接阻抗匹配电路；接收带通滤波器(RX)包括多个串联的FBAR和多个并联的FBAR；其中：串联的FBAR包括：衬底(201)、空腔、接收带通滤波器底电极(208)及衬底(201)下表面一侧的接收带通滤波器压电薄膜(210)、接收带通滤波器顶电极(212)；并联的FBAR包括：衬底(201)、空腔、接收带通滤波器底电极(208)及衬底(201)下表面另一侧的接收带通滤波器压电薄膜(210)、接收带通滤波器顶电极(212)、接收带通滤波器负载层(214)。

6.根据权利要求3所述的双面集成的单片体声波双工器，其特征在于，发射带通滤波器(TX)中的衬底(201)、空腔、发射带通滤波器底电极(207)、发射带通滤波器压电薄膜(209)、发射带通滤波器顶电极(211)的厚度均相等。