[发明专利]具有直线形金属焊线的半导体封装结构及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201910599541.3 申请日: 2019-07-04
公开(公告)号: CN112185824A 公开(公告)日: 2021-01-05
发明(设计)人: 蔡汉龙;林正忠 申请(专利权)人: 中芯长电半导体(江阴)有限公司
主分类号: H01L21/56 分类号: H01L21/56;H01L21/60;H01L23/49;H01L23/31
代理公司: 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 代理人: 余明伟
地址: 214437 江*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 具有 线形 金属 半导体 封装 结构 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种具有直线形金属焊线的半导体封装结构的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

提供晶圆,所述晶圆包括芯片、切割道、位于所述芯片表面的第一焊盘及位于所述切割道表面的第二焊盘;

采用焊线工艺,通过金属焊线连接所述第一焊盘及第二焊盘,其中,所述金属焊线包含直线形金属焊线及曲线形金属焊线,且所述直线形金属焊线与所述第一焊盘相接触形成第一焊点,所述曲线形金属焊线与所述第二焊盘相接触形成第二焊点;

形成封装层,所述封装层覆盖所述晶圆表面及金属焊线,其中,所述封装层包括第一封装区及第二封装区,所述第一封装区覆盖所述芯片表面及直线形金属焊线,所述第二封装区覆盖所述第一封装区、切割道及曲线形金属焊线;

减薄所述封装层,以显露位于所述第一封装区中的所述直线形金属焊线;

沿所述切割道对所述晶圆进行切割,以获得独立的所述芯片。

2.根据权利要求1所述的具有直线形金属焊线的半导体封装结构的制备方法,其特征在于:所述直线形金属焊线与所述芯片表面的夹角范围包括45°~90°。

3.根据权利要求1所述的具有直线形金属焊线的半导体封装结构的制备方法,其特征在于:减薄所述封装层的方法包括化学机械研磨法。

4.根据权利要求1所述的具有直线形金属焊线的半导体封装结构的制备方法,其特征在于:对所述晶圆进行切割的方法包括激光切割法及刀片切割法中的一种或组合。

5.根据权利要求1所述的具有直线形金属焊线的半导体封装结构的制备方法,其特征在于:所述金属焊线包括Cu线、Au线、Cu合金线、Au合金线及Cu/Au合金线中的一种或组合。

6.根据权利要求1所述的具有直线形金属焊线的半导体封装结构的制备方法,其特征在于:所述封装层包括聚酰亚胺封装层、硅胶封装层以及环氧树脂封装层中的一种。

7.一种具有直线形金属焊线的半导体封装结构,其特征在于,所述半导体封装结构包括:

芯片,所述芯片表面包括焊盘;

直线形金属焊线,所述直线形金属焊线与所述焊盘相接触形成焊点,其中,所述直线形金属焊线包括直立线形金属焊线及倾斜线形金属焊线中的一种或组合;

封装层,所述封装层覆盖所述芯片表面及直线形金属焊线,且所述封装层显露所述直线形金属焊线。

8.根据权利要求7所述的具有直线形金属焊线的半导体封装结构,其特征在于:所述倾斜线形金属焊线与所述芯片表面的夹角范围介于45°~90°之间,包括45°。

9.根据权利要求7所述的具有直线形金属焊线的半导体封装结构,其特征在于:所述直线形金属焊线包括Cu线、Au线、Cu合金线、Au合金线及Cu/Au合金线中的一种或组合。

10.根据权利要求7所述的具有直线形金属焊线的半导体封装结构,其特征在于:所述封装层包括聚酰亚胺封装层、硅胶封装层以及环氧树脂封装层中的一种。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯长电半导体(江阴)有限公司,未经中芯长电半导体(江阴)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910599541.3/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top