[发明专利]一种测试装置及晶片自动测试机在审
| 申请号： | 201910600069.0 | 申请日： | 2019-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN110320462A | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | 范群意 | 申请（专利权）人： | 范群意 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R1/04 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 518049 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 旋转工作台 测试装置 测试台 调节柱 自动测试机 调节杆 转动连接 晶片 载台 转动 晶片测试 位置可调 种晶 贯穿 | ||
1.一种测试装置，包括测试台(431)，其特征在于，还包括载台(432)和转动设于所述载台(432)上的旋转工作台(401)，所述测试台(431)设于所述旋转工作台(401)的上部；所述旋转工作台(401)底部设有调节柱(403)，所述调节柱(403)贯穿所述载台(432)并与所述载台(432)转动连接；所述调节柱(403)的底部设有调节杆(404)，推动所述调节杆(404)，所述调节杆(404)能够带动所述调节柱(403)和所述旋转工作台(401)转动。
2.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述调节杆(404)的轴线与所述调节柱(403)的轴线相垂直。
3.根据权利要求2所述的测试装置，其特征在于，所述调节杆(404)被配置为能够垂直贯穿所述调节柱(403)。
4.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述载台(432)的侧部设有调节块(402)，所述调节块(402)靠近所述调节柱(403)的一侧设有条形槽(4021)，所述调节杆(404)的自由端设于所述条形槽(4021)内。
5.根据权利要求4所述的测试装置，其特征在于，所述调节块(402)上还设置有第一螺旋微分头(405)，所述第一螺旋微分头(405)的测杆能够伸入所述调节块(402)内部并与所述调节杆(404)抵接，旋转所述第一螺旋微分头(405)的微调旋钮，改变所述第一螺旋微分头(405)的测杆伸出长度，进而驱动所述调节杆(404)在所述条形槽(4021)中移动。
6.根据权利要求4所述的测试装置，其特征在于，所述调节块(402)上还设有第一锁紧螺栓(406)，所述第一锁紧螺栓(406)被配置为能够锁紧所述调节杆(404)。
7.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述测试装置还包括升降机构(42)和支撑机构(41)，所述支撑机构(41)包括相互平行且间隔设置的支撑顶板(411)和支撑底板(412)，以及设于所述支撑顶板(411)与所述支撑底板(412)之间的支撑竖板(413)，所述载台(432)设于所述支撑顶板(411)与所述支撑底板(412)之间，所述升降机构(42)被配置为能够驱动所述载台(432)靠近或远离所述支撑顶板(411)。
8.根据权利要求7所述的测试装置，其特征在于，所述测试装置还包括高度调节机构(48)，所述高度调节机构(48)被配置为能够调节所述支撑顶板(411)相对于所述支撑底板(412)的高度。
9.根据权利要求8所述的测试装置，其特征在于，所述高度调节机构(48)包括设于所述支撑顶板(411)上的第三螺旋微分头(481)，所述第三螺旋微分头(481)的测杆穿过所述支撑顶板(411)后与所述支撑竖板(413)的顶面抵接，旋转所述第三螺旋微分头(481)的微调旋钮，改变所述第三螺旋微分头(481)的测杆伸出长度，进而驱动所述支撑顶板(411)相对所述支撑底板(412)靠近或远离。
10.一种晶片自动测试机，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的测试装置。
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