[发明专利]电源供应装置及其操作方法

说明书

一种电源供应装置，包含电感器、开关、供应电源以及缓冲电路。开关的第一端点耦接于电感器的第一端点。供应电源的第一端点与开关的第二端点耦接。缓冲电路的第一端点与开关的第一端点耦接于第一电压输出端点，缓冲电路的第二端点与供应电源的第二端点电性耦接于第二电压输出端点，其中电感器、开关、供应电源和缓冲电路用以协同操作而于第一电压输出端点与第二电压输出端点产生输出电压。

技术领域

本公开关于一种电源供应装置，特别涉及一种具有抑制突波产生的可调电压电源供应装置。

背景技术

在目前半导体制程领域的等离子体系统中(如溅镀、蚀刻等)，现行技术使用负压电源及与其电压等比例、相依式的正压电源搭配作脉冲电源输出，以周期性抑制于靶材表面产生的电弧。然而，对于需调整正压电源的电压电平以符合不同制程与溅镀材料的应用，现有固定电压比例、脉冲频率输出的正压无法有效率抑制电弧的产生，造成溅镀速率慢及薄膜品质不佳等问题。此外，在利用脉冲信号切换开关时，需要有合适的缓冲电路吸收切换时产生的突波能量。

发明内容

本公开的一实施例涉及一种电源供应装置，包含一电感器、一开关、一供应电源以及一缓冲电路。该开关的一第一端点耦接于该电感器的一第一端点。该供应电源的一第一端点与该开关的一第二端点耦接。该缓冲电路的一第一端点与该开关的该第一端点耦接于一第一电压输出端点，该缓冲电路的一第二端点与该供应电源的一第二端点电性耦接于一第二电压输出端点，其中该电感器、该开关、该供应电源和该缓冲电路用以协同操作而于该第一电压输出端点与该第二电压输出端点产生一输出电压。

本公开的另一实施例涉及电源供应装置，包含一开关、一第一电感器、一供应电源、一储能元件、一第一突波抑制器以及一第二突波抑制器。该第一电感器与该开关耦接，用以接收来自一电压信号转换器的输出电压并产生一储能电压。该供应电源与该开关耦接，用以提供一供应电压。该储能元件与该开关耦接于一第一电压输出端点。该第一突波抑制器与该储能元件耦接于一节点。该第二突波抑制器的一第一端点与该储能元件耦接于该节点，该第二突波抑制器的一第二端点与该供应电源电性耦接于一第二电压输出端点，其中当该开关切换至导通时，该供应电源、该储能元件、该开关与该第一突波抑制器形成一第一回路，以吸收该开关于切换时产生的一反向突波，且该供应电源更用以于该第一电压输出端点与该第二电压输出端点输出该供应电压；当该开关切换至关断时，该储能元件与该第二突波抑制器形成一第二回路以吸收该开关于切换时产生的一正向突波，且该第一电感器更用以于该第一电压输出端点与该第二电压输出端点输出该储能电压。

本公开的另一实施例涉及一种电源装置控制方法，包含以下步骤：通过一电感器吸收一电压信号转换器的输出电压以输出一第一电压信号、控制一开关的一导通状态以选择性输出该第一电压信号作为一输出电压，或自一可调电源供应器输出与该第一电压信号极性相反的一第二电压信号作为该输出电压，其中当该开关关断时，一储能元件与一第一突波抑制器用以形成一第一回路以抑制输出该第一电压信号时所产生的一反向突波，以及当该开关导通时，该储能元件、该开关与一第二突波抑制器用以形成一第二回路以抑制输出该第二电压信号时所产生的一正向突波。

附图说明

为让本公开的上述和其他目的、特征、优点与实施例能更明显易懂，附图的说明如下：

图1是为依据本公开一实施例所示出的一种电源供应装置的示意图；

图2是为依据本公开一实施例所示出的控制信号与输出电压的示意图；

图3是为依据本公开一实施例所示出的一种电源供应装置运行时的示意图；

图4是为依据本公开另一实施例所示出的一种电源供应装置的示意图；

图5是为依据本公开一实施例所示出的一种电源供应装置的示意图；以及

图6是为依据本公开一实施例所示出的一种电源供应装置运行时的示意图。

其中，附图标记说明如下：