[发明专利]MRAM器件及其制造方法及包括MRAM的电子设备有效
申请号: | 201910601904.2 | 申请日: | 2019-07-04 |
公开(公告)号: | CN110323247B | 公开(公告)日: | 2021-08-31 |
发明(设计)人: | 朱慧珑 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
主分类号: | H01L27/22 | 分类号: | H01L27/22;G11C11/16 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 倪斌 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | mram 器件 及其 制造 方法 包括 电子设备 | ||
1.一种磁性随机存取存储MRAM器件,包括:
第一数量的第一MRAM单元和第二数量的第二MRAM单元,
其中,第一MRAM单元具有第一切换电流密度和/或切换磁场强度,第二MRAM单元具有小于第一切换电流密度和/或切换磁场强度的第二切换电流密度和/或切换磁场强度,
其中,至少一部分第二MRAM单元被预先设置为不同的数据状态,以用作检测环境扰动的检测单元。
2.根据权利要求1所述的MRAM器件,其中,MRAM单元包括磁性隧道结MTJ结构。
3.根据权利要求1所述的MRAM器件,其中,MRAM单元是自旋转移矩STT-MRAM。
4.根据权利要求2所述的MRAM器件,所述MTJ结构是自旋转移矩STT结构。
5.根据权利要求3或4所述的MRAM器件,其中,所述第一MRAM单元的STT效率与所述第二MRAM单元的STT效率不同。
6.根据权利要求4所述的MRAM器件,其中,第一MRAM单元中的MTJ结构的尺寸大于第二MRAM单元中的MTJ结构的尺寸。
7.根据权利要求4所述的MRAM器件,其中,第二MRAM单元中的MTJ结构的边缘区域带有损伤。
8.根据权利要求7所述的MRAM器件,其中,第一MRAM单元中的MTJ结构的边缘区域也带有损伤。
9.根据权利要求8所述的MRAM器件,其中,第一MRAM单元中的MTJ结构的尺寸大于第二MRAM单元中的MTJ结构的尺寸。
10.根据权利要求9所述的MRAM器件,其中,第一MRAM单元的STT效率的数值比第二MRAM单元的STT效率的数值小。
11.根据权利要求7所述的MRAM器件,其中,第一MRAM单元中的MTJ结构的边缘区域无损伤。
12.根据权利要求11所述的MRAM器件,其中,第一MRAM单元中的MTJ结构的尺寸大于或等于第二MRAM单元中的MTJ结构的尺寸。
13.根据权利要求7或8所述的MRAM器件,其中,各MTJ结构包括依次叠置的固定层、隧道势垒层和自由层,其中所述损伤在自由层中。
14.根据权利要求1所述的MRAM器件,还包括第三数量的第三MRAM单元,第三MRAM单元具有小于第二切换电流密度和/或磁场强度的第三切换电流密度和/或切换磁场强度,
其中,至少一部分第三MRAM单元被预先设置为不同的数据状态,以用作检测环境扰动的检测单元。
15.根据权利要求14所述的MRAM器件,其中,
所述第三MRAM单元是自旋转移矩STT-MRAM,或者
所述第三MRAM单元包括磁性隧道结MTJ结构,所述MTJ结构是STT结构。
16.根据权利要求15所述的MRAM器件,其中,所述第一MRAM单元的STT效率的数值比所述第二MRAM单元的STT效率的数值小,所述第二MRAM单元的STT效率的数值比所述第三MRAM单元的STT效率的数值小。
17.根据权利要求1所述的MRAM器件,还包括:
存储器控制器,用于基于所述检测单元中数据状态的改变,确定是否发生环境扰动。
18.根据权利要求1所述的MRAM器件,其中,检测单元被配置为在正常操作期间仅允许从中读取数据状态,而不允许对其进行写入。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院微电子研究所,未经中国科学院微电子研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910601904.2/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的