[发明专利]蒸镀掩模及其好坏判定、制造、选择、其装置的制造方法

权利要求书

1.一种蒸镀掩模的好坏判定方法，判定蒸镀掩模的好坏，该蒸镀掩模在第1方向上延伸，并具有：第1中心轴线，其在所述第1方向上延伸，配置在与所述第1方向垂直的第2方向的中心位置处；P1点和Q1点，它们设置在所述第1中心轴线的一侧，沿着所述第1方向互相分离；以及P2点和Q2点，它们设置在所述第1中心轴线的另一侧，沿着所述第1方向互相分离，其中，

该好坏判定方法具有如下的工序：

测量工序，测量从所述P1点到所述Q1点的尺寸X1和从所述P2点到所述Q2点的尺寸X2；以及

判定工序，根据在所述测量工序中测量出的所述尺寸X1和所述尺寸X2，判定所述蒸镀掩模的好坏，

在所述判定工序中，在设所述尺寸X1和所述尺寸X2的设计值为α_X时，判定是否满足数式1，

【数式1】

所述设计值α_X的范围为200mm以上。

2.一种蒸镀掩模的好坏判定方法，判定蒸镀掩模的好坏，该蒸镀掩模在第1方向上延伸，并具有：第1中心轴线，其在所述第1方向上延伸，配置在与所述第1方向垂直的第2方向的中心位置处；P1点和Q1点，它们设置在所述第1中心轴线的一侧，沿着所述第1方向互相分离；以及P2点和Q2点，它们设置在所述第1中心轴线的另一侧，沿着所述第1方向互相分离，其中，

该好坏判定方法具有如下的工序：

测量工序，测量从所述P1点到所述Q1点的尺寸X1和从所述P2点到所述Q2点的尺寸X2；以及

判定工序，根据在所述测量工序中测量出的所述尺寸X1和所述尺寸X2，判定所述蒸镀掩模的好坏，

所述蒸镀掩模具有多个贯通孔，

在所述判定工序中，在设所述尺寸X1和所述尺寸X2的设计值为α_X，设从所述P1点到所述P2点的尺寸和从所述Q1点到所述Q2点的尺寸的设计值为α_Y，设所述第2方向上的两个所述贯通孔的中心点之间的距离中的最大值为W_Y时，判定所述蒸镀掩模是否满足数式2，

【数式2】

所述设计值α_X的范围为200mm以上。

3.根据权利要求1或2所述的蒸镀掩模的好坏判定方法，其中，

所述P1点和所述P2点被有意配置成在蒸镀时相对于所述第1中心轴线互相对称，所述Q1点和所述Q2点被有意配置成在蒸镀时相对于所述第1中心轴线互相对称。

4.根据权利要求1或2所述的蒸镀掩模的好坏判定方法，其中，

所述P1点和所述P2点相对于第2中心轴线配置在一侧，该第2中心轴线配置在所述第1方向的中心位置处，

所述Q1点和所述Q2点相对于所述第2中心轴线配置在另一侧。

5.根据权利要求4所述的蒸镀掩模的好坏判定方法，其中，

所述P1点和所述Q1点被有意配置成在蒸镀时相对于所述第2中心轴线互相对称，所述P2点和所述Q2点被有意配置成在蒸镀时相对于所述第2中心轴线互相对称。

6.一种蒸镀掩模的制造方法，具有如下的工序：

准备蒸镀掩模的工序；以及

通过权利要求1～5中的任意一项所述的所述蒸镀掩模的好坏判定方法来判定所述蒸镀掩模的好坏的工序。