[发明专利]一种高选择性剥离液、其制备方法和应用有效
申请号: | 201910603572.1 | 申请日: | 2019-07-05 |
公开(公告)号: | CN110412838B | 公开(公告)日: | 2023-02-21 |
发明(设计)人: | 王溯;蒋闯;冯强强;王亮 | 申请(专利权)人: | 上海新阳半导体材料股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/42 | 分类号: | G03F7/42 |
代理公司: | 上海弼兴律师事务所 31283 | 代理人: | 王卫彬;张玉莹 |
地址: | 201616 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 选择性 剥离 制备 方法 应用 | ||
1.一种剥离液,其特征在于,其原料包括下列质量分数的组分:0-30.00%的水、5.00-20.00%的直链酰胺类有机溶剂、10.00-30.00%的砜类和/或亚砜类有机溶剂、21.00-79.00%的醇醚类有机溶剂、5.00-20.00%的烷酮类有机溶剂和0.01-5.00%的表面活性剂,各组分质量分数之和为100%,所述的表面活性剂为含糖酰胺基的四硅氧烷双子表面活性剂;
所述的含糖酰胺基的四硅氧烷双子表面活性剂为如下所示的含糖酰胺基的四硅氧烷双子表面活性剂中的一种或多种;
其中,R1为n为1-6的整数,s为3-8的整数;
R2为
R3为x为3-6的整数;
R4为H或
2.如权利要求1所述的剥离液,其特征在于,其原料组分不含季胺类化合物。
3.如权利要求1所述的剥离液,其特征在于,
所述的水的质量分数为3.00-23.00%;
和/或,所述的直链酰胺类有机溶剂的质量分数为8.00-15.00%;
和/或,所述的砜类和/或亚砜类有机溶剂的质量分数为15.00-25.00%;
和/或,所述的醇醚类有机溶剂的质量分数为28.00-64.00%;
和/或,所述的烷酮类有机溶剂的质量分数为8.00-15.00%;
和/或,所述的表面活性剂的质量分数为0.05-1.50%。
4.如权利要求3所述的剥离液,其特征在于,
所述的水的质量分数为7.00-15.00%;
和/或,所述的直链酰胺类有机溶剂的质量分数为10.00-12.00%;
和/或,所述的砜类和/或亚砜类有机溶剂的质量分数为17.00-23.00%;
和/或,所述的醇醚类有机溶剂的质量分数为51.00-60.00%;
和/或,所述的烷酮类有机溶剂的质量分数为10.00-12.00%;
和/或,所述的表面活性剂的质量分数为0.10-1.30%。
5.如权利要求1所述的剥离液,其特征在于,
所述的水为去离子水、蒸馏水和纯水中的一种或多种;
和/或,所述的直链酰胺类有机溶剂为N-甲基甲酰胺、N-乙基甲酰胺、N,N-二甲基甲酰胺、N,N-二乙基甲酰胺、乙酰胺、N-甲基乙酰胺、N,N-二甲基乙酰胺、N-(2-羟基乙基)乙酰胺、N,N-二甲基丙酰胺、3-甲氧基-N,N-二甲基丙酰胺、3-(2-乙基己基氧基)-N,N-二甲基丙酰胺和3-丁氧基-N,N-二甲基丙酰胺中的一种或多种;
和/或,所述的砜类有机溶剂为甲基砜、环丁砜和二丙砜中的一种或多种;
和/或,所述的亚砜类有机溶剂为二甲基亚砜和甲乙基亚砜、二苯基亚砜、氯化亚砜、二丙砜和苄苯亚砜中的一种或多种;
和/或,所述的醇醚类有机溶剂为乙二醇单甲基醚、乙二醇单乙基醚、乙二醇单异丙基醚、乙二醇单丁基醚、二乙二醇单甲基醚、二乙二醇单乙基醚、二乙二醇单异丙基醚、二乙二醇单丁基醚、三乙二醇单甲基醚、三乙二醇单乙基醚、三乙二醇单异丙基醚、三乙二醇单丁基醚、聚乙二醇、聚丙二醇、聚乙二醇单甲基醚、聚乙二醇单丁基醚、丙二醇单甲基醚、二丙二醇单甲基醚、三丙二醇单甲基醚、二丙二醇单甲基醚、二丙二醇单乙基醚、二丙二醇单丙基醚和二丙二醇单丁基醚中的一种或多种;
和/或,所述的烷酮类有机溶剂为咪唑烷酮类和/或吡咯烷酮类有机溶剂。
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