[发明专利]一种新型光电复合离子源

权利要求书

1.一种新型光电复合离子源，包括进样毛细管（1）和电离室（5），其特征在于，所述进样毛细管（1）设置在电离室（5）的前端；所述电离室（5）的前端安装推斥电极（2）、真空紫外灯（3）；所述电离室（5）的后端安装有引出极片（4），引出极片（4）后端安装有聚焦电极（6），所述电离室（5）为圆柱体结构，中心开孔，所述真空紫外灯（3）倾斜安装在所述电离室（5）的前端，并且伸入到电离室（5）内，所述真空紫外灯（3）的数目为多个，所述真空紫外灯（3）之间相互独立，所述真空紫外灯（3）的光束在所述电离室（5）的内部多次反射。

2.根据权利要求1所述的一种新型光电复合离子源，其特征在于：所述进样毛细管（1）表面设置防护层。

3.根据权利要求1所述的一种新型光电复合离子源，其特征在于：所述推斥电极（2）为栅网形状。

4.根据权利要求1所述的一种新型光电复合离子源，其特征在于：所述电离室（5）内壁侧面上也设置有毛细管（1）。

5.根据权利要求1所述的一种新型光电复合离子源，其特征在于：所述真空紫外灯（3）设置有多个。