[发明专利]LED的转移方法及LED显示面板的制备方法有效

专利信息
申请号: 201910604717.X 申请日: 2019-07-05
公开(公告)号: CN110416124B 公开(公告)日: 2020-10-13
发明(设计)人: 林永富;陈柏良 申请(专利权)人: 深超光电(深圳)有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/683;H01L27/15;H01L33/48
代理公司: 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 代理人: 徐丽
地址: 518109 广东省深圳市*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: led 转移 方法 显示 面板 制备
【权利要求书】:

1.一种LED的转移方法,其包括以下步骤:

步骤S11:提供一接收基板和多个LED,所述接收基板具有多个接收区域,每一接收区域用于对应接收一个所述LED,每一LED的相对两端分别设置有磁性相反的第一电极和第二电极;或每一LED的相对两端分别设置有磁性相反的可供磁吸引材料,但所述可供磁吸引材料不作为所述LED的电极;

步骤S12:提供一第一电磁平板,利用所述第一电磁平板磁性吸附所述多个LED,使每一LED均保持第一电极朝上或第二电极朝上后转移至一第一平台;或提供一第一电磁平板,利用所述第一电磁平板磁性吸附所述多个LED,使每一LED均保持相同磁性的可供磁吸引材料朝上后转移至一第一平台;

步骤S13:提供一第二电磁平板,所述第二电磁平板的表面上具有第一绝缘非磁性材料层,所述第一绝缘非磁性材料层上具有暴露所述第二电磁平板的表面的多个第一通孔,每一第一通孔的尺寸均大于每一LED的尺寸,所述多个第一通孔与所述多个接收区域为一一对应的,且所述第二电磁平板通电后对应每一个第一通孔的位置可吸附一个所述LED,其他位置不可吸附所述LED,利用所述第二电磁平板吸附所述第一平台上的所述多个LED,使其粗定位后转移至一第二平台上;以及

步骤S14:提供一第三电磁平板,所述第三电磁平板的表面上具有第二绝缘非磁性材料层,所述第二绝缘非磁性材料层上具有暴露所述第三电磁平板的表面的多个第二通孔,每一第二通孔的尺寸均大于每一LED的尺寸并小于每一第一通孔的尺寸,所述多个第二通孔与所述多个接收区域为一一对应的,所述第三电磁平板通电后对应每一个第二通孔的位置可吸附一个所述LED,其他位置不可吸附LED,利用所述第三电磁平板吸附所述第二平台上的所述多个LED,使其细定位后对应转移至所述接收基板的接收区域。

2.如权利要求1所述的LED的转移方法,其特征在于,采用激光剥离的方法形成所述多个第一通孔和所述多个第二通孔。

3.如权利要求1所述的LED的转移方法,其特征在于,所述第一绝缘非磁性材料层和所述第二绝缘非磁性材料层的材料为聚酰亚胺基复合材料。

4.如权利要求3所述的LED的转移方法,其特征在于,采用化学气相沉积的方法形成所述第一绝缘非磁性材料层和所述第二绝缘非磁性材料层。

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