[发明专利]一种陶瓷盘加持机构

说明书

本发明涉及半导体技术领域，具体为一种陶瓷盘加持机构与陶瓷盘送料系统，用于陶瓷盘送料过程中，包括滑台模组、加持组件以及滑动块，所述滑动块安装于所述滑台模组，所述加持组件用于加持陶瓷盘并与所述滑动块直接或间接固定连接；利用滑台模组实现滑动块升降运动，从而带动加持组件、陶瓷盘同步发生运动，实现陶瓷盘的送料，解决人工送料的低效率、易损坏问题，在加持架上设有卡槽，在卡槽上设有用于限制陶瓷盘下坠的限位部，来解决下料过程中的不平稳问题，以及上料过程中加持力度出现偏差，陶瓷盘可自行进行根据受力进行相对加持架位置上的微调，从而避免损坏。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，具体为一种陶瓷盘加持机构与陶瓷盘送料系统。

背景技术

半导体陶瓷是指具有半导体特性、电导率约在10-6～105S/m的陶瓷。半导体陶瓷的电导率因外界条件(温度、光照、电场、气氛和温度等)的变化而发生显著的变化，因此可以将外界环境的物理量变化转变为电信号，制成各种用途的敏感元件。

现有相关技术中，在陶瓷盘的送料过程中，若需将陶瓷盘沿垂直方向运输，通常采用人工处理或者是机械伸缩臂配合夹手进行实现。

然而，通过上述方式，人工处理由于疲劳度或操作失误易于造成陶瓷盘损坏且效率低；机械伸缩臂配合夹手来运输陶瓷盘，在夹手夹取料时，易于出现夹持故障导致陶瓷盘损坏，在放料时，易于出现陶瓷盘下料不平稳，出现安全隐患。

所以，如何设计一种陶瓷盘加持机构是当前要解决的问题。

发明内容

本发明提供了一种陶瓷盘加持机构与陶瓷盘送料系统，以解决易于造成陶瓷盘损坏、下料不平稳，从而带来安全隐患的问题。

根据本发明的第一方面，提供一种陶瓷盘加持机构，用于陶瓷盘送料过程中，包括滑台模组、加持组件以及滑动块，所述滑动块安装于所述滑台模组，所述加持组件用于加持陶瓷盘并与所述滑动块直接或间接固定连接；

所述滑台模组用于驱动对应的滑动块做升降运动，以使得直接或间接连接于所述滑动块的所述加持组件、所述陶瓷盘同步发生升降运动。

可选的，所述滑台模组包括驱动电机、与所述驱动电机配合使用的减速机，以及用于传动所述滑动块做升降运动的传动模块；所述滑动块能够随着所述传动模块的传动方向运动，所述驱动电机连接所述减速机用于驱动所述传动模块工作。

可选的，所述加持组件包括加持架和悬臂支架，所述加持架直接或间接安装于所述悬臂支架，所述悬臂支架与所述滑动块直接或间接固定连接，以使得直接或间接安装于所述悬臂支架的加持架与所述滑动块做同步运动，所述加持架设有用于加持所述陶瓷盘的卡槽，以使得所述陶瓷盘能够随着所述加持架同步发生运动。

可选的，所述传动模块包括传动丝杆和滑台，所述滑台设有用于所述滑动块实现滑动的滑轨，所述传动丝杆安装于所述滑台内且与由所述驱动电机驱动，以使得所述滑动块能够沿着所述滑轨的长度方向进行升降运动。

可选的，所述滑动块设有连接部、滑动部以及传动部，所述连接部用于连接所述加持组件，以使得所述加持组件与所述滑动块同步发生运动，所述滑动部安装于所述滑轨，用以实现所述滑动块沿所述滑轨长度方向运动，所述传动部安装于所述传动丝杆，以使得所述滑动块能够沿着所述传动丝杆的传动方向运动。

可选的，所述悬臂支架包括无杆气缸，所述加持架包括左加持架和右加持架，并且至少是所述左加持架或所述右加持架其中的一个可沿着所述无杆气缸的长度方向进行移动，以使得所述加持架能够加持所述陶瓷盘，并随着所述无杆气缸沿着所述滑动块运动方向同步发生运动。

可选的，所述的一种陶瓷盘加持机构还包括固定板，所述滑台模组直接或间接设于所述固定板。

可选的，所述固定板呈“工”字型，用以所述滑动块沿着所述滑轨滑动时进行限位。