[发明专利]一种平行光侧向曝光装置在审
| 申请号： | 201910605168.8 | 申请日： | 2019-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN110376850A | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 丁鹏;胡聪;韩杰;张建宝;王永忠 | 申请（专利权）人： | 武汉优炜星科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 武汉智嘉联合知识产权代理事务所(普通合伙) 42231 | 代理人： | 江慧 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖新*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 玻璃盖板 反射镜组 侧壁部 掩膜板 侧向 曝光装置 主平面部 平行光 光阑 竖直设置 垂直的 曝光量 包覆 反射 平行 侧面 曝光 引入 | ||
1.一种平行光侧向曝光装置，其特征在于，包括LED光源、反射镜组、掩膜板和光阑，其中：
待曝光的玻璃盖板包括主平面部和侧壁部，所述LED光源平行于所述主平面部设置，用于向所述主平面部和所述反射镜组发射竖直方向的光束；
所述反射镜组设置于所述侧壁部的两侧，用于将所述LED光源发射的边缘光束反射至所述侧壁部；
所述掩膜板包覆设置于所述玻璃盖板的外侧，用于将所述LED光源发射的光束经所述掩膜板后在所述玻璃盖板上形成曝光图形；
所述光阑竖直设置于所述反射镜组与所述掩膜板之间，边缘光束由所述反射镜组反射后依次经所述光阑和所述掩膜板后到达所述侧壁部。
2.根据权利要求1所述的平行光侧向曝光装置，其特征在于，所述LED光源为紫外LED平行点光源阵列，且所述反射镜组、所述掩膜板和所述光阑均位于所述LED光源的竖直投影面积中。
3.根据权利要求1所述的平行光侧向曝光装置，其特征在于，所述反射镜组的反射面为45度倾角的截面结构，且所述LED光源发射的边缘光束经所述反射镜组反射后水平射向所述侧壁部。
4.根据权利要求1所述的平行光侧向曝光装置，其特征在于，所述掩膜板包括水平掩膜板和竖直掩膜板，所述竖直掩膜板垂直设置于所述水平掩膜板的端部，所述LED光源发射的中央光束经所述水平掩膜板后到达所述主平面部，所述LED光源发射的边缘光束经所述竖直掩膜板后到达侧壁部。
5.根据权利要求1所述的平行光侧向曝光装置，其特征在于，所述光阑为孔径光阑，用于控制所述LED光源发射的边缘光束的光斑大小。
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