[发明专利]一种阴极荧光测量深度分辨的装置及方法

权利要求书

1.一种阴极荧光测量深度分辨的装置，其特征在于，包括：静电透镜、样品控制台、光学透镜和光谱仪，电子束经过所述静电透镜后聚焦在设置于所述样品控制台上的样品表面，样品经电子束辐照激发出的光经所述光学透镜射入至光谱仪。

2.根据权利要求1所述的一种阴极荧光测量深度分辨的装置，其特征在于，还包括CCD相机，所述CCD相机设置于所述电子束聚焦点的正上方。

3.根据权利要求1所述的一种阴极荧光测量深度分辨的装置，其特征在于，所述样品控制台采用高精度可移动控制台。

4.一种阴极荧光测量深度分辨的方法，其特征在于，包括如下步骤：

(1)利用静电透镜将电子束聚焦，获得纳米级宽度的电子束；

(2)调节样品控制台，确保电子束聚焦在样品表面；

(3)调节光学透镜的位置及角度，确保光谱仪光路的焦点与电子束在样品表面聚焦的焦点在同一位置；

(4)调节样品控制台使共聚焦点处于样品的不同深度，实现公共焦点处元素组成和晶格缺陷光谱信息的测量。

5.根据权利要求4所述的一种阴极荧光测量深度分辨的方法，其特征在于，所述步骤(2)中利用聚焦的电子束辐照样品控制台上的荧光材料，根据CCD相机观察到的荧光斑尺寸及位置信息，结合样品控制台的调节，确保电子束聚焦在样品表面。

6.根据权利要求5所述的一种阴极荧光测量深度分辨的方法，其特征在于，所述步骤(3)中利用激光笔从光谱仪光纤接口处反向照射，利用光路的可逆性，根据CCD相机观察到的荧光斑尺寸及位置信息，调节光学透镜位置和角度，确保光谱仪光路的焦点与步骤(2)中电子束聚焦的焦点在样品表面同一位置。