[发明专利]载具自动清洁及检测装置、方法

说明书

本发明实施例涉及清洁设备技术领域，公开了一种载具自动清洁及检测装置、方法。本发明提供的载具自动清洁及检测装置包括：清洗机；杂质检测机；控制系统，所述控制系统控制载具进入所述清洗机，并控制所述清洗机对所述载具进行自动清洗，还控制所述杂质检测机对清洗完成的所述载具进行微尘检测。本发明提供的载具自动清洁及检测装置、方法能够自动完成载具的清洗及杂质检测，减少人力成本。

技术领域

本发明实施例涉及清洁设备技术领域，特别涉及一种载具自动清洁及检测装置、方法。

背景技术

随着全球电子化设备的不断更新换代，全球芯片需要量也在不断的增加，由于芯片的价格过于昂贵，芯片厂在正式生产过程中会使用大量的假陪片来确保工艺和设备的稳定，假陪片的定义是可以反复回收使用的硅片，同时洁净等级是与产品片有着一致要求的一种硅片，所以用于装载假陪片的晶圆盒同样有着极高的洁净等级要求。现有技术中清洁及检测晶圆盒的方法是人工对晶圆盒进行清洁，再将晶圆盒搬运至杂质检测机进行杂质检测。

发明人发现现有技术中至少存在如下问题：人工清洁晶圆盒以及人工将晶圆盒搬运至杂质检测机均需消耗较大的人力成本。

发明内容

本发明实施方式的目的在于提供一种载具自动清洁及检测装置、方法，其能够自动完成载具的清洗及杂质检测，减少人力成本。

为解决上述技术问题，本发明的实施方式提供了一种载具自动清洁及检测装置，包括：

清洗机；杂质检测机；控制系统，所述控制系统控制载具进入所述清洗机，并控制所述清洗机对所述载具进行自动清洗，还控制所述杂质检测机对清洗完成的所述载具进行杂质检测。

本发明的实施方式还提供了一种载具自动清洁及检测方法，包括：提供载具；提供清洗机及杂质检测机；控制所述载具进入所述清洗机，对所述载具进行自动清洗；控制清洗完成的所述载具进入所述杂质检测机，对清洗完成的所述载具进行微尘检测。

本发明的实施方式相对于现有技术而言，通过额外设置清洗机，以及设置控制系统，使得载具在需要清洁时，控制系统能够控制清洗机清洁所述载具，从而实现了载具的自动清洁，由于清洗机能够自动清洁载具无需人工清洁，使得载具的清洁过程无需消耗人力成本；通过设置杂质检测机，使得载具在清洗机内清洗完成后，无需人工搬运至杂质检测机中进行检测，只需控制载具进入所述杂质检测机即可，从而节省了人工搬运载具所耗费的时间，进一步减少了人力成本。

另外，所述清洗机包括用于清洁所述载具的清洗机主体以及与所述清洗机主体围设成封闭空间的室门，所述控制系统还用于在所述载具进入所述清洗机主体时，控制所述室门关闭。

另外，还包括与所述控制系统连接的传感器，所述清洗机主体上设有多个固定结构，所述载具进入所述清洗机主体时，多个所述固定结构中的一个固定所述载具，所述控制系统还用于在所述传感器感应到固定所述载具的固定结构时，判定固定所述载具的固定结构是否与预设固定结构匹配，在判定匹配时，再执行所述控制所述清洗机对所述载具进行自动清洗，其中，所述预设固定结构为多个所述固定结构中与所述载具的种类匹配的固定结构。通过此种方式，确保了晶圆能够存储在与其匹配的载具中。

另外，所述清洗机主体包括排风装置，所述排风装置用于将所述载具体内的气体排出。由于载具在清洗过程中会产生大量的带有酸离子的挥发性气体，若不及时排出会腐蚀载具，通过设置排风装置，使得载具内的挥发性气体排出，确保了载具不会受到影响。

另外，所述控制系统还用于在所述排风装置工作第一预设时长后，控制所述排风装置关闭。通过此种方式，使得排风装置在工作第一预设时长后便会停止工作，从而能够在将载具清洁干净、确保载具的性能不受影响的同时，提高清洗机的清洁效率。