[发明专利]一种差分谐振器及MEMS传感器在审
| 申请号： | 201910606444.2 | 申请日： | 2019-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN110311649A | 公开（公告）日： | 2019-10-08 |
| 发明（设计）人： | 占瞻;李杨;刘雨薇;陈秋玉;张睿 | 申请（专利权）人： | 瑞声科技（南京）有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02 |
| 代理公司： | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人： | 汤喜友 |
| 地址： | 210093 江苏省南京市栖霞区仙林*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 谐振器 导向梁 耦合梁 耦合机构 第二连接件 第一连接件 基底连接 基底位移 外力作用 相对两侧 振动方向 垂直的 基底 | ||
1.一种差分谐振器，所述差分谐振器包括基底、第一谐振器、第二谐振器以及耦合机构，所述第一谐振器通过所述耦合机构与所述第二谐振器连接，且所述第一谐振器和所述第二谐振器与所述基底连接并且在外力作用下可相对所述基底位移，且所述第一谐振器和所述第二谐振器位移方向互为相反，其特征在于：
所述耦合机构包括第一导向梁、第二导向梁、第一耦合梁、第二耦合梁、第一连接件以及第二连接件；其中，所述第一导向梁和所述第二导向梁设置于与所述第一谐振器或所述第二谐振器的振动方向相垂直的方向的相对两侧；
所述第一耦合梁的一端与所述第一导向梁连接，另一端与所述第二导向梁连接，并且所述第一耦合梁的中部通过所述第一连接件与所述第一谐振器连接；
所述第二耦合梁的一端与所述第一导向梁连接，另一端与所述第二导向梁连接，并且所述第二耦合梁的中部通过所述第二连接件与所述第二谐振器连接。
2.如权利要求1所述的差分谐振器，其特征在于：所述第一耦合梁的一端与所述第一导向梁在所述振动方向上的中间部位连接，另一端与所述第二导向梁在所述振动方向上的中间部位连接；
所述第二耦合梁的一端与所述第一导向梁在所述振动方向上的中间部位连接，另一端与所述第二导向梁在所述振动方向上的中间部位连接。
3.如权利要求1所述的差分谐振器，其特征在于：所述第一耦合梁与所述第二耦合梁沿着垂直所述振动方向的方向对称设置，形成环形耦合梁。
4.如权利要求3所述的差分谐振器，其特征在于：所述环形耦合梁为圆形耦合梁、菱形耦合梁或椭圆形耦合梁。
5.如权利要求3所述的差分谐振器，其特征在于：所述第一耦合梁和所述第二耦合梁在所述振动方向之间的间距由中间向两侧逐渐递减。
6.如权利要求1所述的差分谐振器，其特征在于：所述第一导向梁和所述第二导向梁均为弹性材料制成。
7.如权利要求1所述的差分谐振器，其特征在于：所述第一导向梁、所述第二导向梁、所述第一耦合梁、所述第二耦合梁、所述第一连接件以及所述第二连接件一体成型，形成所述耦合机构。
8.一种MEMS传感器，其特征在于：所述MEMS传感器包括如权利要求1-7任意一项所述的差分谐振器。
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