[发明专利]一种正胶剥离液、其制备方法和应用有效
| 申请号： | 201910607653.9 | 申请日： | 2019-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN110361941B | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 王溯;蒋闯;冯强强;王亮 | 申请（专利权）人： | 上海新阳半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 上海弼兴律师事务所 31283 | 代理人： | 王卫彬;张玉莹 |
| 地址： | 201616 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 剥离 制备 方法 应用 | ||
1.一种正胶剥离液，其特征在于，其原料由下列质量分数的组分组成：1.00％-5.00％的季铵碱、40.00％-60.00％的烷醇胺、1.00％-8.00％的缓蚀剂、5.00％-20.00％的直链酰胺类有机溶剂、5.00％-20.00％的酯类溶剂、4.00％-8.00％的醇醚类有机溶剂、5.00％-20.00％的烷酮类有机溶剂、0.01％-2.00％的表面活性剂和0.01％-2.00％的EO-PO嵌段共聚物L62，各组分质量分数之和为100％；所述的表面活性剂为含糖酰胺基的四硅氧烷双子表面活性剂。
2.如权利要求1所述的正胶剥离液，其特征在于，
所述的季铵碱的质量分数为2.00％-4.00％；
和/或，所述的烷醇胺的质量分数为45.00％-55.00％；
和/或，所述的缓蚀剂的质量分数为2.00％-7.00％；
和/或，所述的直链酰胺类有机溶剂的质量分数为8.00％-15.00％；
和/或，所述的酯类溶剂的质量分数为8.00％-15.00％；
和/或，所述的醇醚类有机溶剂的质量分数为5.00％-7.00％；
和/或，所述的烷酮类有机溶剂的质量分数为8.00％-15.00％；
和/或，所述的表面活性剂的质量分数为0.03％-1.00％；
和/或，所述的EO-PO嵌段共聚物L62的质量分数为0.03％-1.00％。
3.如权利要求2所述的正胶剥离液，其特征在于，
所述的季铵碱的质量分数为2.50％-3.50％；
和/或，所述的烷醇胺的质量分数为50.00％-53.00％；
和/或，所述的缓蚀剂的质量分数为4.00％-5.00％；
和/或，所述的直链酰胺类有机溶剂的质量分数为10.00％-12.00％；
和/或，所述的酯类溶剂的质量分数为10.00％-12.00％；
和/或，所述的醇醚类有机溶剂的质量分数为5.50％-6.50％；
和/或，所述的烷酮类有机溶剂的质量分数为10.00％-12.00％；
和/或，所述的表面活性剂的质量分数为0.05％-0.50％；
和/或，所述的EO-PO嵌段共聚物L62的质量分数为0.03％-1.00％。
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