[发明专利]一种碳化硅制备用的坩埚夹取装置在审
申请号: | 201910608979.3 | 申请日: | 2019-07-08 |
公开(公告)号: | CN110280319A | 公开(公告)日: | 2019-09-27 |
发明(设计)人: | 徐涛;于征磊 | 申请(专利权)人: | 天津市卓辉电子有限公司 |
主分类号: | B01L9/00 | 分类号: | B01L9/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 300000 天津市*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 坩埚 遮挡盘 夹取装置 十字支撑 夹取 纵向连接装置 遮挡装置 夹取部 碳化硅 制备 固定设置 实验过程 移动坩埚 转动连接 坩埚结构 板安装 操作杆 传统的 下端面 支撑爪 中心处 坩埚钳 托环 下端 装夹 伤害 保证 研究 | ||
1.一种碳化硅制备用的坩埚夹取装置,包括夹取部(1)、操作杆(2)和托环(3),其特征在于:所述夹取部(1)包括遮挡装置(11)、十字支撑板(12)和支撑爪(13),所述遮挡装置(11)包括遮挡盘(111)和纵向连接装置(112),所述纵向连接装置(112)固定设置在遮挡盘(111)下端面,所述十字支撑板(12)安装在遮挡盘(111)下端面的中心处,且十字支撑板(12)与遮挡盘(111)转动连接,所述支撑爪(13)安装在十字支撑板(12)的头部,且支撑爪(13)通过转架机构(14)与十字支撑板(12)滑动连接,所述操作杆(2)安装在纵向连接装置(112)的下端,且操作杆(2)与纵向连接装置(112)滑动配合连接,所述托环(3)安装在操作杆(2)的下端,且操作杆(2)的下端面焊接在托环(3)的上端面,所述托环(3)包括滑动座(31)和包围环(32),所述包围环(32)安装在滑动座(31)的内部,且包围环(32)与滑动座(31)滑动连接。
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅制备用的坩埚夹取装置,其特征在于,所述纵向连接装置(112)包括稳定台(1121)、滑杆(1122)和操作部(114),所述稳定台(1121)焊接在遮挡盘(111)下端面的一侧,且稳定台(1121)中部开设有条形槽(1123),所述滑杆(1122)垂直设置在稳定台(1121)的下端面上,且滑杆(1122)与稳定台(1121)通过焊接相固定,所述操作部(114)设置在条形槽(1123)的内部,且操作部(114)与稳定台(1121)滑动连接,所述操作部(114)包括滑条(1141)、连接头(1142)和限位块(1143),所述滑条(1141)滑动安装在条形槽(1123)内部,所述连接头(1142)设置在滑条(1141)的头部,且连接头(1142)与滑条(1141)一体成型,所述限位块(1143)对称焊接在滑条(1141)的左右两侧,且限位块(1143)通过弹性元件(1144)与稳定台(1121)的外侧面相连接,所述弹性元件(1144)一端固定在限位块(1143)的外侧面上,另一端固定在稳定台(1121)的外侧面上。
3.根据权利要求2所述的一种碳化硅制备用的坩埚夹取装置,其特征在于,所述十字支撑板(12)包括板体(121)、辅助板(122)和安装槽(123),所述板体(121)外侧面上均匀设置有若干个方形条(1211),所述方形条(1211)的数量至少为三条,且方形条(1211)与板体(121)一体成型,所述辅助板(122)设置在方形条(1211)之间,且辅助板(122)与板体(121)一体成型,所述辅助板(122)上端面设置有限位滑槽板(1221),所述限位滑槽板(1221)对称设置在辅助板(122)中心线的两侧,且限位滑槽板(1221)与辅助板(122)固定连接,所述安装槽(123)设置在板体(121)上端面的中心处。
4.根据权利要求3所述的一种碳化硅制备用的坩埚夹取装置,其特征在于,所述支撑爪(13)安装在方形条(1211)的外侧面上,且支撑爪(13)与方形条(1211)滑动连接,所述支撑爪(13)包括回字条(131)、弧形支撑板(132)和防滑条(133),所述回字条(131)套在方形条(1211)上,且回字条(131)上还设置有第一转轴杆(1311),且第一转轴杆(1311)垂直固定在回字条(131)的上端面,所述弧形支撑板(132)设置在回字条(131)的头部,且弧形支撑板(132)与回字条(131)一体成型,所述防滑条(133)均匀的固定在弧形支撑板(132)的外侧面上。
5.根据权利要求4所述的一种碳化硅制备用的坩埚夹取装置,其特征在于,所述转架机构(14)包括圆周盘(141)、传动杆(142)和主动滑条(143),所述圆周盘(141)安装在安装槽(123)内,且圆周盘(141)与安装槽(123)转动连接,所述圆周盘(141)包括凸轮(1411)、第二转轴杆(1412)和底座(1413),所述底座(1413)安装在安装槽(123)内,所述凸轮(1411)设置在底座(1413)的上端,且凸轮(1411)与底座(1413)固定连接,所述第二转轴杆(1412)均匀的设置在凸轮(1411)与底座(1413)之间,且第二转轴杆(1412)与凸轮(1411)和底座(1413)均固定连接。
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