[发明专利]一种小间隙超导腔内表面高压冲洗设备

说明书

本发明涉及一种小间隙超导腔内表面高压冲洗设备，其特征在于，包括支撑架、上支撑台面、旋转平台、喷杆、平台驱动装置、喷杆驱动装置、高压隔膜泵和控制系统；支撑架的顶部固定连接上支撑台面，上支撑台面的顶部设置有旋转平台；支撑架和上支撑台面的中心均开设有用于喷杆往复运动的第一通孔，旋转平台的中心开设有用于喷杆往复运动的第二通孔，上支撑台面的第一通孔和第二通孔上分别设置有用于定位支撑喷杆的导套，喷杆的顶部设置有喷头，喷杆的底部连接高压隔膜泵；支撑架上设置有平台驱动装置和喷杆驱动装置；高压隔膜泵、平台驱动装置和喷杆驱动装置还分别电连接控制系统，本发明可以广泛应用于加速器制造技术领域中。

技术领域

本发明涉及一种高压超纯水冲洗设备，是关于一种小间隙超导腔内表面高压冲洗设备，属于加速器制造技术领域。

背景技术

高压超纯水冲洗是超导腔获得优异性能的关键一步，是超导腔表面处理的一个关键环节。超导腔经过表面化学缓冲抛光、高温除氢和超声波冲洗后，采用高压超纯水冲洗，目的是彻底去除附着在超导腔体内表面的杂质微粒，以实现超导腔的设计性能。

超导腔的前期处理工艺会有微小颗粒附着在腔体内壁，它的存在严重影响腔体的超导性能，为此需要采用高压超纯水对其进行冲洗，去除腔体内表面杂质。现有的冲洗设备采用18.2兆欧的超纯水，通过高压水泵的驱动使水压升至几十到一百多个大气压(Bar)，通过连接管道、相关传动机构、驱动机构、喷杆和喷头形成的高压水柱对超导腔内壁进行冲洗。

然而，在超导腔中解决小间隙超导腔的冲洗问题尤为困难，它需要解决冲洗过程中喷头和喷杆的稳定性，以在穿过超导腔小间隙时不碰到腔体内壁，造成超导腔的报废，实现对腔体内壁的安全冲洗。

发明内容

针对上述问题，本发明的目的是提供一种具有稳定性和安全性的小间隙超导腔内表面高压冲洗设备。

为实现上述目的，本发明采取以下技术方案：一种小间隙超导腔内表面高压冲洗设备，其特征在于，包括支撑架、上支撑台面、旋转平台、喷杆、平台驱动装置、喷杆驱动装置、高压隔膜泵和控制系统；所述支撑架的顶部固定连接所述上支撑台面，所述上支撑台面的顶部设置有用于支撑待冲洗超导腔的所述旋转平台；所述支撑架和上支撑台面的中心均开设有用于所述喷杆往复运动的第一通孔，所述旋转平台的中心开设有用于所述喷杆往复运动的第二通孔，所述上支撑台面的第一通孔和所述第二通孔上分别设置有用于定位支撑所述喷杆的导套，所述喷杆的顶部设置有喷头，所述喷杆的底部连接所述高压隔膜泵；所述支撑架上设置有所述平台驱动装置和喷杆驱动装置，所述平台驱动装置用于驱动所述旋转平台旋转，所述喷杆驱动装置用于驱动所述喷杆进行往复运动；所述高压隔膜泵、平台驱动装置和喷杆驱动装置还分别电连接所述控制系统。

优选地，所述旋转平台由顶板和旋转底座固定连接而成。

优选地，所述平台驱动装置包括支撑底座、传动齿轮、第一传动轮、第二传动轮、第一传动带和第一电机；位于所述上支撑台面的顶部，所述旋转底座外侧套设有所述支撑底座，所述支撑底座的顶部通过旋转轴承固定连接所述旋转底座；所述上支撑台面内开设有容置空间，所述容置空间内设置有所述传动齿轮、第一传动轮和第二传动轮，所述传动齿轮固定连接所述旋转底座的底部，所述第一传动轮和第二传动轮的外侧套设有所述第一传动带，所述传动齿轮与所述第一传动轮以及所述第一传动轮与所述第二传动轮之间均为啮合连接；所述第二传动轮固定连接所述第一电机的输出端，所述第一电机电连接所述控制系统。