[发明专利]一种提高硅锭少子寿命的方法

权利要求书

1.一种提高硅锭少子寿命的方法，其特征在于：利用多晶半熔工艺铸锭，在装炉时向多晶炉内加入机油或废旧机油中的一种或两种。

2.根据权利要求1所述的一种提高硅锭少子寿命的方法，其特征在于：所述机油、废旧机油加入多晶炉内的量至少为200ml，机油与废旧机油的混合物加入多晶炉内的量至少为200ml。

3.根据权利要求1或2所述的一种提高硅锭少子寿命的方法，其特征在于：在装炉之前还包括以下步骤：坩埚装料：将氮化硅粉、纯水、硅溶胶按照8：16：5混合后得到浆液，将浆液均匀喷涂在坩埚(3)内表面；将喷涂过的坩埚(3)放置12h后装满硅料。

4.根据权利要求1或2所述的一种提高硅锭少子寿命的方法，其特征在于：所述装炉还包括以下步骤：将护板(4)安装在坩埚(3)四周；向多晶炉内加入机油或废旧机油中的一种或两种后，检查是否漏油。

5.根据权利要求1或2所述的一种提高硅锭少子寿命的方法，其特征在于：多晶炉内设置有隔热笼(2)和DSS(5)，机油或废旧机油中的一种或两种添加到隔热笼(2)的外侧或DSS(5)的下方。

6.根据权利要求1或2所述的一种提高硅锭少子寿命的方法，其特征在于：在装炉之后还依次包括熔化、长晶、退火冷却后出炉；所述熔化、长晶、退火冷却具体包括如下步骤：

按照多晶炉温度设定参数进行升温熔化，硅料升温至1535～1545℃后熔化10～12h成硅液，然后按照多晶炉温度设定参数进行降温，降温至1520～1525℃，并逐步打开多晶炉炉体中的隔热笼(2)，多晶炉炉体内从下至上形成温度梯度，转入长晶阶段；

硅液从坩埚(3)底部开始逐步长晶变成固体，平均生长速度为10～12mm/h，长晶完成，控制多晶炉的铸锭炉工控机发出报警提示；

按照多晶炉温度设定参数进行退火冷却，退火温度为1300～1370℃，保温1.5～2h，退火完成后进行冷却，冷却阶段设定多晶炉功率为零，最终得到少子寿命提高的硅锭。