[发明专利]一种基于细菌纤维素传感膜的声表面波湿度传感器在审
| 申请号： | 201910609864.6 | 申请日： | 2019-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN110231399A | 公开（公告）日： | 2019-09-13 |
| 发明（设计）人： | 王金龙;郭袁俊;唐永亮;李登极 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01N29/036 | 分类号： | G01N29/036 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 闫树平 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 传感膜 湿度传感器 细菌纤维素 声表面波 湿度检测 表面羟基基团 生物医用材料 质量负载效应 长期稳定性 吸附水分子 热稳定性 人造皮肤 丝状纤维 网状结构 质量参数 灵敏度 持水性 传感器 透水性 超强 薄膜 应用 检测 响应 恢复 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于细菌纤维素传感膜的声表面波湿度传感器，其特征在于：包括声表面波谐振器、铝电极和外围振荡电路；
所述外围振荡电路包括移相电路和放大电路，其中移相电路用于声波信号相位翻转，放大电路用于放大经移相电路相位翻转后的声波信号；
所述声表面波谐振器由压电基底、以及从左向右依次设置于压电基底上的反射栅、输入叉指换能器、传感膜、输出叉指换能器、反射栅构成；
所述输入叉指换能器通过铝电极连接到移相电路的输入端，所述移相电路输出端通过放大器、铝电极连接到输出叉指换能器；
所述传感膜为由细菌纤维素制成的细菌纤维素薄膜。
2.根据权利要求1所述的基于细菌纤维素传感膜的声表面波湿度传感器，其特征在于：所述细菌纤维素薄膜沉积厚度为80～150nm。
3.根据权利要求1所述的基于细菌纤维素传感膜的声表面波湿度传感器其特征在于：所述细菌纤维素薄膜的比表面积为80～120m2/g，平均孔径为30～35nm，中孔率为60％～70％。
4.根据权利要求1-3任一项所述的基于细菌纤维素传感膜的声表面波湿度传感器，其特征在于：所述压电基底为ST-cut(42°75’)石英(12mm×3mm×0.5mm)晶体。
5.根据权利要求3所述所述的基于细菌纤维素传感膜的声表面波湿度传感器，其特征在于：所述石英基底上的涂覆的细菌纤维素薄膜为5层，总厚度为120nm。
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