[发明专利]一种提高微通道板分辨力的方法及其蒸镀方法

权利要求书

1.一种提高MCP分辨力的方法，其特征在于，所述方法包括：

在MCP的输出端面上蒸镀一层金属材料的膜层，以覆盖MCP原有的输出镍-铬电极；所述金属材料的膜层满足：

(1)逸出功高于4.0eV，

(2)与MCP输出镍-铬电极的粘附性好，即在荧光屏高场强条件下不会因脱落引起放电或击穿，

(3)不会释放气体，不会影响像增强器的真空度，

(4)膜层厚度为5nm～30nm；

所述在MCP的输出端面上蒸镀一层金属材料的膜层包括：

(1)对MCP进行清洗，

(2)放入烘箱中烘烤，

(3)降温到室温，

(4)放入氮气柜中室温下进行保存，

(5)进行镀膜，包括：

a)将MCP镀膜夹具装入镀膜机的工件架，

b)使MCP的中心偏离蒸发源的角度θ≤22°，且所镀膜层的深度越深角度θ越小，达到调节工件转盘与蒸发源之间的距离的目的，

c)在坩埚中放入适量的蒸镀金属膜层用的金属材料，

d)关闭真空腔室，启动真空泵抽真空，

e)调节工件转盘的转速至r1 rpm,转动工件转盘，

f)打开镀膜机离子枪，轰击MCP的输出端，

g)继续抽真空，

h)调节工件转盘的转速至r2 rpm，打开电子枪，加热蒸发源，并以0.6nm/s的蒸发速率蒸镀，

(6)冷却一段时间，充入氮气直到与大气压平衡，打开镀膜机的真空腔室，从工件转盘架上取出MCP镀膜夹具，再从该镀膜夹具上取出MCP，放入包装盒中。

2.根据权利要求1所述的提高MCP分辨力的方法，其特征在于：所述金属材料的膜层采用铂(Pt)、镍(Ni)、金(Au)、银(Ag) 中的任一种金属材料蒸镀。

3.根据权利要求1或2所述的提高MCP分辨力的方法，其特征在于：所述膜层的深度≥2.5d，其中d为MCP的通道孔径。

4.根据权利要求1或2所述的提高MCP分辨力的方法，其特征在于：所述r1为60。

5.根据权利要求1或2所述的提高MCP分辨力的方法，其特征在于：所述r2为100。