[发明专利]一种耐卤素铜缓蚀剂及其制备方法在审
| 申请号： | 201910612099.3 | 申请日： | 2019-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN110205633A | 公开（公告）日： | 2019-09-06 |
| 发明（设计）人： | 程晓婷;张爱国;周文 | 申请（专利权）人： | 威海翔泽新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F11/14 | 分类号： | C23F11/14;C07D249/18 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 崔自京 |
| 地址： | 264200 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 铜缓蚀剂 制备 双氧水 氢氧化钠 甲基苯并三氮唑 次氯酸钠溶液 质量百分比 次氯酸钠 缓蚀效果 加药处理 完全溶解 对设备 混合液 水余量 循环水 预热 滴加 组份 全程 | ||
【权利要求书】：
1.一种耐卤素铜缓蚀剂，其特征在于，所述耐卤素铜缓蚀剂为甲基苯并三氮唑衍生物，其结构包括如下所示：
其中，R1、R2、R3与R4均分别为H、Cl或CH3。
2.如权利要求1所述的一种耐卤素铜缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述方法具体包括如下步骤：
(1)分别称取如下质量百分比的反应原料：
(2)将水和氢氧化钠按照比例加入容器中搅拌升温，随后加入TTA搅拌至完全溶解，得到混合物I；
(3)将步骤(2)得到的混合物I和双氧水同时反滴加到已预热的次氯酸钠溶液中，保持温度搅拌3～4h，即得本发明公开的一种耐卤素铜缓蚀剂。
3.根据权利要求2所述的一种耐卤素铜缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)中的反应原料，按质量百分比计：
4.根据权利要求2所述的一种耐卤素铜缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述步骤(2)中的搅拌温度为65℃～85℃，搅拌时间为30～60min。
5.根据权利要求2所述的一种耐卤素铜缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述步骤(3)中的次氯酸钠预热温度为85℃，且反应温度控制在80℃～85℃的范围之内。
6.根据权利要求5所述的一种耐卤素铜缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述混合物I与双氧水应当同时滴加完成。
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