[发明专利]用于自检MEMS惯性传感器的方法和系统

权利要求书

1.一种用于测试微机电系统MEMS惯性传感器的系统，该系统包括：

测试电路，被配置为：

接收表示MEMS惯性传感器对由信号发生器产生的测试信号的响应的响应信号；

通过将同相参考信号与响应信号混频来产生同相响应信号，所述同相参考信号相对于所述测试信号基本上是同相的；

通过将所述响应信号与正交参考信号混频来产生正交响应信号，所述正交参考信号相对于所述测试信号基本上处于正交；

基于所述正交响应信号确定所述同相响应信号是否用于评估MEMS惯性传感器的特性；和

当确定所述同相响应信号用于评估MEMS惯性传感器的特性时，使用所述同相响应信号评估MEMS惯性传感器的特性。

2.根据权利要求1所述的系统，还包括移相器，被配置为使得所述正交参考信号和所述测试信号相对于彼此基本上处于正交。

3.根据权利要求1所述的系统，其中所述测试电路包括第一比较器，并且其中所述测试电路被配置为至少部分地通过用第一比较器比较所述正交响应信号的幅度和阈值幅度来确定所述同相响应信号是否用于评估MEMS惯性传感器的特性。

4.根据权利要求1所述的系统，其中当基于所述正交响应信号确定所述同相响应信号不用于评估MEMS惯性传感器的特性时，所述测试电路还可以被配置为输出指示要忽略自检结果的通知信号。

5.根据权利要求1所述的系统，还包括信号发生器，被配置为使用所述测试信号刺激所述MEMS惯性传感器。

6.一种测试微机电系统MEMS惯性传感器的方法，该方法包括：

使用测试信号刺激MEMS惯性传感器；

响应于所述刺激从所述MEMS惯性传感器接收响应信号；

使用所述响应信号和同相参考信号产生同相响应信号，所述同相参考信号相对于所述测试信号基本上是同相的；

使用所述响应信号和正交参考信号产生正交响应信号，所述正交参考信号相对于所述测试信号基本上处于正交；

基于所述正交响应信号确定所述同相响应信号是否用于评估MEMS惯性传感器的特性；和

当确定所述同相响应信号用于评估MEMS惯性传感器的特性时，使用所述同相响应信号评估MEMS惯性传感器的特性。

7.根据权利要求6所述的方法，其中基于所述正交响应信号确定所述同相响应信号是否用于评估MEMS惯性传感器的特性包括确定所述正交响应信号的幅度是否低于第一阈值幅度。

8.根据权利要求6所述的方法，其中使用所述同相响应信号评估MEMS惯性传感器的特性包括确定同相响应信号的幅度是否高于第二阈值幅度。

9.根据权利要求8所述的方法，其中如果所述同相响应信号的幅度不高于所述第二阈值幅度，则该方法还包括输出指示MEMS惯性传感器正在发生故障的通知信号。

10.根据权利要求6所述的方法，其中MEMS惯性传感器的特性包括MEMS加速度计对加速度的灵敏度或MEMS陀螺仪对角运动的灵敏度。

11.一种用于测试微机电系统MEMS惯性传感器的系统，该系统包括：

MEMS惯性传感器；和

测试电路，被配置为：

响应于测试信号从MEMS惯性信号接收响应信号；

使用所述响应信号和同相参考信号产生同相响应信号，所述同相参考信号相对于所述测试信号基本上是同相的，并且使用所述响应信号和正交参考信号产生正交响应信号，所述正交参考信号相对于所述测试信号基本上处于正交；

基于所述正交响应信号确定所述同相响应信号是否用于评估MEMS惯性传感器的特性；和

当确定所述同相响应信号用于评估MEMS惯性传感器的特性时，使用所述同相响应信号评估MEMS惯性传感器的特性。