[发明专利]治具、研磨装置及样品块的研磨方法

说明书

本发明涉及一种治具、研磨装置及样品块的研磨方法，该治具包括：支撑架，相对研磨机固定；导向装置，包括引导部和活动部，引导部设置在支撑架上，活动部安装在导向部上，并能够沿着引导部滑动，以朝向研磨盘运动；夹持装置，用于夹持样品块；夹持装置设置在活动部上，以便能带动样品块沿着所述引导部运动，以便靠近所述研磨盘；施力装置，设置在支撑架上，用于对夹持装置施力，以便使夹持装置沿着引导部运动，进而将样品块压在研磨盘上。本发明提供的治具通过夹持装置夹持治具，并通过施力装置对夹持装置施力以便使夹持装置沿着导向部朝向研磨盘运动，由于导向部的引导作用可以避免夹持装置在研磨过程中晃动偏移，从而可以避免出现样品块磨偏、磨斜问题的出现。

技术领域

本发明涉及样品检测设备领域，特别是涉及一种治具、研磨装置及样品块的研磨方法。

背景技术

对样品进行检测时，先将样品固化在树脂中，形成样品块，然后再对样品块进行研磨，直至研磨到样品的待观察区域，然后再利用显微镜等进行观察。

其中，在对样品块进行研磨时，通常是通过人工操作，研磨时需要操作者用力将样品块按压在研磨机的研磨盘上，研磨盘旋转时样品块与研磨盘之间产生摩擦，进而实现对样品块研磨。但是实际研磨过程中，会由于人手晃动等原因导致操作者对样品块的施力方向发生变化，进而导致对样品块施力不均匀，这会导致样品块的实际研磨位置偏离所需求的位置，即出现磨偏、磨斜等问题，使得研磨后的产品不能很好地满足实际需求，甚至还会因为这些问题导致操作者不能很好地观察到样品的待观察区域，而致使样品的待观察区域被磨掉。

发明内容

本发明提供一种治具、研磨装置及样品块的研磨方法，旨在解决样品块研磨过程中会出现磨偏、磨斜的问题。

一种治具，能够夹持样品块，并能够在夹持样品块后对其施力以将样品块压在研磨机的研磨盘上，以便对样品块进行研磨，所述治具包括：支撑架，相对所述研磨机固定；导向装置，包括引导部和活动部，所述引导部设置在所述支撑架上，所述活动部安装在所述引导部上，并能够沿着所述引导部滑动，以朝向所述研磨盘运动夹持装置，用于夹持样品块；所述夹持装置设置在所述活动部上，以便能带动所述样品块沿着所述引导部运动，以便靠近所述研磨盘；施力装置，设置在所述支撑架上，用于对所述夹持装置施力，以便使所述夹持装置沿着所述引导部运动，进而将样品块压在所述研磨盘上。

进一步的，所述引导部包括直线导轨，所述活动部包括与所述直线导轨滑动配合的滑块；及/或所述夹持装置包括卡盘，所述卡盘的卡爪用于夹持所述样品块，所述卡盘的盘体与所述活动部相接，以便带动所述样品块沿着所述导轨靠近所述研磨盘。

进一步的，所述施力装置包括：固定件，与所述支撑架相接；转盘，可转动地安装在所述固定件上，所述转盘上设有螺纹孔；施力组件，具有传动部，所述传动部设有外螺纹，以便与所述螺纹孔配合，进而将所述施力组件与所述转盘连接在一起；其中，所述转盘相对所述固定件转动的方向与第一方向垂直，所述螺纹孔的轴向与所述第一方向平行，以便在所述转盘相对所述固定件转动时，能够驱动所述施力组件在所述第一方向上运动，进而使得所述施力组件能够在所述第一方向上对所述夹持装置施力；所述第一方向为所述活动部沿着所述导向部滑动的方向。

进一步的，所述传动部包括套管，所述外螺纹设置在所述套管的外壁；所述施力组件还包括推杆和弹性件，其中，所述套管套设在所述推杆上，并能够相对所述推杆在所述第一方向上运动，所述推杆靠近所述夹持装置的一端设有挡板；所述弹性件一端与所述挡板相接，另一端与所述套管相接，所述转盘驱动相对所述固定件转动时，能够驱动所述套管在第一方向上运动，并挤压所述弹性件使之产生形变，进而实现对所述推杆施力，以将所述夹持装置压在所述研磨盘上。

进一步的，所述推杆的外壁设有表示所述弹性件形变时所产生的弹力的大小的刻度值，以方便控制对所述夹持装置施力的大小。