[发明专利]一种薄膜传感器的频率响应测试方法有效
| 申请号： | 201910615540.3 | 申请日： | 2019-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN110455402B | 公开（公告）日： | 2021-07-02 |
| 发明（设计）人： | 赵兵;刘玉龙;张联祯;黄英坤 | 申请（专利权）人： | 中科传感技术（青岛）研究院 |
| 主分类号： | G01H11/08 | 分类号： | G01H11/08 |
| 代理公司： | 青岛鼎丞智佳知识产权代理事务所(普通合伙) 37277 | 代理人： | 韩耀朋 |
| 地址： | 266000 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 传感器 频率响应 测试 方法 | ||
1.一种薄膜传感器的频率响应测试方法，其特征在于，包括：
将信号发生器(1)的输出端与功率放大器(2)的输入端相连，功率放大器(2)的输出端与超声波换能器(3)的输入端相连；
电荷放大器(5)、滤波电路(6)和后置放大电路(7)采用仪器--信号放大器，将电荷放大器(5)的输入端与薄膜传感器(4)相连，后置放大电路(7)输出端与示波器(8)通道相连；
将超声波换能器(3)的输入端通过信号线与示波器(8)通道相连；
将超声波换能器(3)与薄膜传感器(4)放置到能够传递超声波的介质之中；
激活信号发生器(1)的输出，并给整个系统供电；
对比示波器(8)上显示的加载到超声波换能器(3)上的驱动信号波形和薄膜传感器(4)采集超声波换能器(3)产生的机械振动信号波形，得出该薄膜传感器(4)对该频率的频率响应性能。
2.根据权利要求1所述的一种薄膜传感器的频率响应测试方法，其特征在于，改变信号发生器(1)的输出频率，并相应更换频率与之匹配的超声波换能器(3)，重新测试不同频段的薄膜传感器(4)频率响应性能。
3.根据权利要求1所述的一种薄膜传感器的频率响应测试方法，其特征在于，所述介质为润滑油。
4.根据权利要求1所述的一种薄膜传感器的频率响应测试方法，其特征在于：所述超声波换能器(3)与薄膜传感器(4)相互靠近，二者之间位置根据测试需要可进行调整。
5.根据权利要求1所述的一种薄膜传感器的频率响应测试方法，其特征在于：所述信号发生器(1)输出信号为正弦波。
6.根据权利要求1所述的一种薄膜传感器的频率响应测试方法，其特征在于：所示测试方法需要在无电磁干扰环境下进行。
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