[发明专利]液体容器装置

说明书

提供能够均匀保持液体的温度的液体容器装置。液体容器装置包括：贮存用配管，其包括使从所述工作设备回收的液体流入的流入口、及使液体朝向所述工作设备流出的流出口，通过从所述流入口连接到所述流出口而能够贮存液体；液温调整器，设置在所述贮存用配管上，将所述贮存用配管内的液体的温度调整到特定的温度；泵，设置在所述流出口，用于将所述液体送出至所述工作设备；供给阀，为了将从所述泵送出的液体中的至少一部分供给给所述工作设备，通过自身开闭来调整供给给所述工作设备的液体的流量；回流管，用于从所述泵和所述供给阀之间连接到所述贮存用配管的所述流入口侧的部分，并将从所述供给阀未送出的液体送回至所述贮存用配管。

技术领域

本发明涉及一种液体容器装置，用于在工作设备中所使用的液体提供给该工作设备的同时，回收并贮存在该工作设备中使用过的液体。

背景技术

下述专利文献1记载了进行切割和研磨等金属加工的加工装置、以及冷却液供给装置，所述冷却液供给装置向该加工装置供给实现润滑、冷却的目的而使用的水溶性溶剂即冷却液。由此，该冷却液在加工装置使用之后回收再使用。由此，冷却液供给装置具备用于对冷却液杀菌的加热杀菌装置，且该加热杀菌装置具有热处理槽(可以考虑为贮存液体的容器。)，通过设置在该热处理槽内的热源(加热器)进行杀菌处理。另外，该加热杀菌装置构成为，在用于将热处理前的冷却液带入热处理槽的处理前流路内，以螺旋状设置有将热处理后的冷却液从热处理槽送出的热处理后流路，并在这些之间进行热交换。

此外，除了如上所述的加工装置的冷却液之外，在制造业等中，还存在各种再利用的液体。例如，在半导体元件、印刷电路板、显示器面板等制造工序中，光刻中所使用的光刻胶的剥离液等。该光刻胶的剥离液如上述冷却液一样，供给给剥离光刻胶的装置使用，再回收贮存在容器内。但是，为了使该光刻胶的剥离液充分发挥剥离光刻胶的功能，期望在适当的温度下被供给，因此，在容器内有必要保持适当的温度。由此，发现该剥离液因使用而被氧化，由此产生的氧化物的增加而导致剥离能力降低。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：特开2011-224191号公报

发明内容

本发明所要解决的技术问题

如专利文献1记载的装置中那样，在处理槽(贮存槽)中简单地设置热源的构成中，在贮存槽中一部分液体会滞留，在该一部分液体中，存在液温上升过多或下降过多的情况。此外，例如，即使在贮存槽内搭载搅拌功能，也存在贮存槽内不能完全搅拌的情况。特别地，当将上述光刻胶的剥离液贮存在这种构成的容器装置时，存在在一部分溶液中液温上升过多而被氧化，氧化物增加而导致剥离能力降低的问题。

本发明是鉴于这样的情况而完成的，其目的在于提供一种均匀保持液体的温度的液体容器装置。

用于解决技术问题的技术方案

(1)为了解决上述问题，本发明的一实施方式的液体容器装置，用于将在工作设备中所使用的液体提供给所述工作设备的同时，回收并贮存在所述工作设备中所使用过的液体，其特征在于，所述液体容器装置包括：贮存用配管，其包括使从所述工作设备回收的液体流入的流入口、以及使液体朝向所述工作设备流出的流出口，通过从所述流入口连接到所述流出口而能够贮存液体；液温调整器，设置在所述贮存用配管上，将所述贮存用配管内的液体的温度调整到特定的温度；泵，设置在所述流出口，用于将所述液体送出至所述工作设备；供给阀，为了将从所述泵送出的液体中的至少一部分供给给所述工作设备，通过自身开闭来调整供给给所述工作设备的液体的流量；回流管，用于从所述泵和所述供给阀之间连接到所述贮存用配管的所述流入口侧的部分，并将从所述供给阀未送出的液体送回至所述贮存用配管。

(2)此外，本发明的某个实施方式，在所述(1)的构成的基础上，所述贮存用配管形成为螺旋状。