[发明专利]一种X射线薄膜窗口电极的制备优化方法以及由此得到的X射线薄膜窗口电极有效

专利信息
申请号: 201910618474.5 申请日: 2019-07-10
公开(公告)号: CN110473754B 公开(公告)日: 2020-07-31
发明(设计)人: 于鹏飞;刘啸嵩;郑顺;任国玺;张念 申请(专利权)人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
主分类号: H01J9/02 分类号: H01J9/02;H01J35/04;G01N23/083;G01N23/20
代理公司: 上海智信专利代理有限公司 31002 代理人: 宋丽荣
地址: 200050 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 射线 薄膜 窗口 电极 制备 优化 方法 以及 由此 得到
【权利要求书】:

1.一种X射线薄膜窗口电极的制备优化方法,其特征在于,包括如下步骤:

S1,根据电极材料确定X射线能量范围;

S2,根据该X射线能量范围内的吸收长度确定至少一个基体层的第一材料和第一厚度;

S3,根据该X射线能量范围内的吸收长度确定至少一个导电层的第二材料和第二厚度;

S4,使用气相沉积方法将第二材料生长于第一材料上以得到导电层覆盖在基体层上的至少一个复合层;

S5,结合标准电极材料的谱学信号测试确定最终复合层;

S6,使用旋涂法、刮涂法或气相沉积法在最终复合层的第二材料上形成电极层,从而得到X射线薄膜窗口电极。

2.根据权利要求1所述的制备优化方法,其特征在于,所述X射线能量范围为50eV-20000eV。

3.根据权利要求1所述的制备优化方法,其特征在于,所述步骤S2具体为:根据该吸收长度确定多个基体层的第一候选材料和第一候选厚度;根据第一候选材料在不同X射线能量下的光透过率随第一候选厚度的演变情况,进一步确定多个基体层。

4.根据权利要求1所述的制备优化方法,其特征在于,所述步骤S3还包括:根据电极材料的反应电位、导电层材料的导电性、和导电层材料的电化学稳定性来确定多个导电层。

5.根据权利要求1所述的制备优化方法,其特征在于,所述步骤S3具体为:根据该吸收长度确定多个导电层的第二候选材料和第二候选厚度;根据第二候选材料在不同X射线能量下的光透过率随第二候选厚度的演变情况,进一步确定多个导电层。

6.根据权利要求1所述的制备优化方法,其特征在于,该制备优化方法还包括步骤S7,将X射线薄膜窗口电极组装成原位电池进行电化学性能测试,结合X射线测试方法进行检验。

7.根据权利要求6所述的制备优化方法,其特征在于,该X射线测试方法包括X射线吸收、X射线衍射和X射线散射中的一种或多种。

8.一种根据权利要求1-7中任一项所述的制备优化方法得到的X射线薄膜窗口电极,其特征在于,其包括由基体层、导电层和电极层依次复合形成的三层复合结构。

9.根据权利要求8所述的X射线薄膜窗口电极,其特征在于,基体层是3,4-(亚甲二氧)肉桂酸、聚碳酸酯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚酰亚胺、聚丙烯、聚四氟乙烯、氮化硅和氮化硼中的至少一种。

10.根据权利要求8所述的X射线薄膜窗口电极,其特征在于,导电层是Au、Ag、Al、Cu和C中的至少一种。

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