[发明专利]一种MEMS光纤水听器及其制作方法

权利要求书

1.一种MEMS光纤水听器，其特征在于，主要包括光纤1、腔长控制层2、膜片支撑3、保护帽4、敏感膜片5、质量块6、反射层7、膜片支撑结构8；

所述光纤1与腔长控制层2连接，所述腔长控制层2制作在膜片支撑3上，所述敏感膜片5通过膜片支撑结构8与膜片支撑3连接，所述反射层7制作在敏感膜片5上，所述敏感膜片5与光纤1之间的距离通过腔长控制层2和反射层7控制，所述质量块6制作在敏感膜片5上，所述保护帽4与膜片支撑3连接。

2.一种如权利要求1所述的MEMS光纤水听器，其特征在于，所述敏感膜片5和膜片支撑8整体结构为单一膜片结构、多孔型膜片结构、弧形梁支撑型膜片结构、直梁支撑型膜片结构或渐开线梁支撑型膜片结构中的一种。

3.一种如权利要求2所述的MEMS光纤水听器，其特征在于，所述直梁支撑型膜片结构的直梁替换成蟹臂梁或折叠梁。

4.一种如权利要求1所述的MEMS光纤水听器，其特征在于，所述光纤1为单模光纤或多模光纤，通过粘接工艺与腔长控制层2连接。

5.一种如权利要求1所述的MEMS光纤水听器，其特征在于，所述反射层7为通过MEMS沉积工艺制作的金属反射材料。

6.一种如权利要求1所述的MEMS光纤水听器，其特征在于，所述敏感膜片5和膜片支撑8的材料为硅、二氧化硅或氮化硅之一。

7.一种如权利要求1所述的MEMS光纤水听器，其特征在于，所述质量块6几何形状为棱柱、棱锥、圆柱或圆锥之一。

8.一种如权利要求1所述的MEMS光纤水听器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤1：制作具有三层结构的基底材料，或直接选用SOI片；

步骤2：在基底材料的顶层上刻蚀制作出敏感膜片5和膜片支撑结构8；

步骤3：在基底材料的底层上刻蚀制作出保护帽4和质量块6；

步骤4：刻蚀去除膜片支撑结构8上的中间层9；

步骤5：通过MEMS薄膜沉积工艺在膜片支撑3上制作腔长控制层2，或选择合适厚度的垫片直接粘接在膜片支撑3上形成腔长控制层2；

步骤6：通过MEMS薄膜沉积工艺在敏感膜片5上制作一层反射膜，形成反射层7；

步骤7：将光纤1直接粘接到腔长控制层2上并保证光纤与敏感膜片5中心对准，形成完整的光纤珐珀水听器。