[发明专利]一种单晶硅片的制绒添加剂及其应用

权利要求书

1.一种单晶硅片的制绒添加剂，其特征在于，该制绒添加剂由以下组分及重量百分比组成：

无机碱，质量浓度为1％-2.5％；

表面活性剂，质量浓度为1％-20％；

螯合剂，质量浓度为0.5％-2.5％；

消泡剂，质量浓度为0.5％-2.5％；

润湿分散剂，质量浓度为1％-15％；

余量为去离子水。

2.根据权利要求1所述的单晶硅片的制绒添加剂，其特征在于：所述无机碱为NaOH、KOH中的任意一种或者是两种的任意组合。

3.根据权利要求1所述的单晶硅片的制绒添加剂，其特征在于：所述表面活性剂为脂肪醇酰硫酸钠，脂肪酸甲酯乙氧基化物磺酸钠，仲烷基磺酸钠，醇醚羧酸钠，单烷基醚磷酸酯钾盐、聚环氧琥珀酸钠、羟基乙二叉二磷酸四钠、葡萄糖酸钠、海藻酸钠、酒石酸钠、苯甲酸钠、全氟辛基磺酸钠、酮基磺酸盐、木质素磺酸钠、环糊精、全氟辛基磺酸钾、葡萄糖、果糖、木糖醇、月桂醇聚氧乙烯醚中的任意一种，或者任意两种或两种以上的任意组合。

4.根据权利要求1所述的单晶硅片的制绒添加剂，其特征在于：所述螯合剂为醋酸钙、亚甲基双萘磺酸钠、聚丙烯酸钠、木质素磺酸钠、烷基酚聚氧乙烯醚、脂肪酸甲酯磺酸盐、甲酸钠、乙酸钠、乙二胺四乙酸四钠、羧甲基淀粉钠、海藻酸钠、酒石酸钠中的任意一种，或者任意两种或两种以上的任意组合。

5.根据权利要求1所述的单晶硅片的制绒添加剂，其特征在于：消泡剂为乳化硅油、高碳醇脂肪酸酯复合物、聚氧乙烯聚氧丙醇胺醚、聚氧丙烯甘油醚和聚二甲基硅氧烷中的任意一种，或者任意两种或两种以上的任意组合。

6.根据权利要求1所述的单晶硅片的制绒添加剂，其特征在于：所述润湿分散剂为亚甲基双萘磺酸钠、聚丙烯酸钠、木质素磺酸钠、烷基酚聚氧乙烯醚、N甲基吡咯烷酮、脂肪酸甲酯磺酸盐、聚乙二醇中的任意一种，或者任意两种或两种以上的任意组合。

7.如权利要求1至6任一项所述的单晶硅片的制绒添加剂的应用，应用在单晶硅片的制绒液中，所述制绒添加剂占整个制绒液的质量百分比为1％-2.5％。