[发明专利]一种压电冲击驱动二维并联跨尺度精密定位平台

权利要求书

1.一种压电冲击驱动二维并联跨尺度精密定位平台，其特征在于：包括微动平台、底座、平板和磁铁，所述微动平台由动子、柔性支架、基座和压电驱动器组成；

所述动子设置于微动平台的中心位置并通过四组柔性支架与基座连接，所述压电驱动器安装在柔性支架与基座之间，所述压电驱动器的数量至少为两个，安装在正交方向上，并分别推动动子进行XY方向位移；

所述的底座整体为方形，上表面的四角位置设置有凸台，上表面的中心位置设置有沉孔，所述微动平台的基座通过螺钉固定安装在底座的凸台上，所述磁铁为圆柱形，底部通过环氧胶固结在底座中心的沉孔内；

所述微动平台通过基座固定在底座的上方，所述动子的中心位置设置有通孔，所述磁铁固定于底座的中心并穿过动子的通孔；

所述动子的四角位置对称设置有四个小球；

所述平板至少包含两层，最下层为耐磨层，与动子的小球摩擦耦合，次下层为铁磁层，受磁铁吸引形成平板与动子之间的预压力。

2.根据权利要求1所述的一种压电冲击驱动二维并联跨尺度精密定位平台，其特征在于：所述的微动平台整体为方形，每组所述柔性支架包含相互垂直的铰链结构；

所述压电驱动器为压电陶瓷叠堆，与所述基座的接触位置设置有紧定螺钉用于调节压电驱动器的预紧力；

所述的动子整体为方形，中心位置的通孔为圆形，所述动子的四角位置对称设置有沉孔，并分别通过环氧胶固结小球。