[发明专利]一种抛光衬垫及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201910620456.0 申请日: 2019-07-10
公开(公告)号: CN110170917A 公开(公告)日: 2019-08-27
发明(设计)人: 周群飞;马海翔 申请(专利权)人: 蓝思科技(长沙)有限公司
主分类号: B24B37/24 分类号: B24B37/24;B24D11/00;B24D3/28
代理公司: 长沙七源专利代理事务所(普通合伙) 43214 代理人: 闵亚红;郑隽
地址: 410311 湖南省*** 国省代码: 湖南;43
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摘要:
搜索关键词: 抛光衬垫 工作层 制备 缓冲层 磨料 单面抛光 下层 重量百分比 金刚石 研磨 分散剂 夹治具 结合剂 良品率 无损伤 氧化铝 缓冲 组份 配制 覆盖 制作
【权利要求书】:

1.一种抛光衬垫,其特征在于,所述抛光衬垫包括工作层和缓冲层,所述缓冲层覆盖在工作层表面,工作层远离缓冲层的一面设有多个沟槽;

其中,所述工作层按重量百分比由以下组份配制而成:填料20~50份,结合剂45~70份,分散剂1~10份。

2.根据权利要求1所述的一种抛光衬垫,其特征在于,所述工作层按重量百分比由以下组份配制而成:填料20%~50%,结合剂45%~70%,分散剂1%~10%。

3.根据权利要求1所述的一种抛光衬垫,其特征在于,所述填料为碳酸钙、硫酸钡、碳酸氢钠、硅酸钙中的一种或几种的组合。

4.根据权利要求1所述的一种抛光衬垫,其特征在于,所述结合剂为缩水甘油酯类环氧树脂、脂环族类环氧树脂、有机硅环氧树脂、环氧丙烯酸酯、聚酯丙烯酸酯、乙烯基醚树脂中的一种或几种的组合。

5.根据权利要求1所述的一种抛光衬垫,其特征在于,所述分散剂包括单不局限于乙烯基双硬脂酰胺、硬脂酸甘油酯、聚乙二醇、油氨基油酸酯。

6.根据权利要求1-5任一所述的一种抛光衬垫,其特征在于,所述缓冲层为PC板材。

7.一种如权利要求1-6任一所述的抛光衬垫的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

步骤1)称取抛光衬垫中工作层所需的原料;

步骤2)将步骤1中称取的原料充分混合后,填充到模具中;

步骤3)利用真空机脱泡处理,最后放置于烘箱中固化成型,自然冷却至室温;

步骤4)自然冷却至室温,在制作好的工作层上覆盖一层缓冲层。

8.根据权利要求7所述的一种抛光衬垫的制备方法,其特征在于,所述步骤2)中各物料搅拌20~30min。

9.根据权利要求7所述的一种抛光衬垫的制备方法,其特征在于,所述步骤3)中在真空机中脱泡处理20-30min,真空机中的压强为-90~-110kpa。

10.根据权利要求7所述的一种抛光衬垫的制备方法,其特征在于,所述步骤3)中真空机脱泡处理后放置于烘箱中固化成型的温度为120-150℃。

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