[发明专利]一种具有多级调控功能的薄膜结构在审
申请号: | 201910623452.8 | 申请日: | 2019-07-11 |
公开(公告)号: | CN110456525A | 公开(公告)日: | 2019-11-15 |
发明(设计)人: | 孟云;魏劲松;王阳 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
主分类号: | G02F1/00 | 分类号: | G02F1/00;C23C14/18;C23C14/35 |
代理公司: | 31317 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人: | 张宁展<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
地址: | 201800*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 相变材料 激光加热 升高 绝缘体 退火 金属 光电子材料 绝缘体材料 薄膜结构 调控功能 光学特性 光学性质 结构产生 结构光学 结构恢复 起始状态 器件设计 新型薄膜 原来状态 反射率 非晶化 调控 晶化 加热 恢复 | ||
1.一种具有多级调控功能的薄膜结构,其特征在于,利用相变材料和金属-绝缘体材料构成,其中中间层为金属-绝缘体材料,上下两层分别为铝层和相变材料。
2.根据权利要求1所述的具有多级调控功能的薄膜结构,其特征在于,所述的金属-绝缘体相变材料为二氧化钒。
3.根据权利要求1所述的具有多级调控功能的薄膜结构,其特征在于,所述的相变材料为锗锑碲。
4.根据权利要求1所述的具有多级调控功能的薄膜结构,其特征在于,所述的铝层厚度为100纳米,锗锑碲厚度为50纳米,二氧化钒厚度为80纳米。
5.根据权利要求1所述的具有多级调控功能的薄膜结构,其特征在于,所述的相变层以磁控溅射制备,MIT层以化学方法制备。
6.根据权利要求1所述的具有多级调控功能的薄膜结构,其特征在于,在温度调控过程中所述相变材料和金属-绝缘体材料相互独立,各自转变,互不影响。
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