[发明专利]一种具有多级调控功能的薄膜结构在审

专利信息
申请号: 201910623452.8 申请日: 2019-07-11
公开(公告)号: CN110456525A 公开(公告)日: 2019-11-15
发明(设计)人: 孟云;魏劲松;王阳 申请(专利权)人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
主分类号: G02F1/00 分类号: G02F1/00;C23C14/18;C23C14/35
代理公司: 31317 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 代理人: 张宁展<国际申请>=<国际公布>=<进入
地址: 201800*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 相变材料 激光加热 升高 绝缘体 退火 金属 光电子材料 绝缘体材料 薄膜结构 调控功能 光学特性 光学性质 结构产生 结构光学 结构恢复 起始状态 器件设计 新型薄膜 原来状态 反射率 非晶化 调控 晶化 加热 恢复
【权利要求书】:

1.一种具有多级调控功能的薄膜结构,其特征在于,利用相变材料和金属-绝缘体材料构成,其中中间层为金属-绝缘体材料,上下两层分别为铝层和相变材料。

2.根据权利要求1所述的具有多级调控功能的薄膜结构,其特征在于,所述的金属-绝缘体相变材料为二氧化钒。

3.根据权利要求1所述的具有多级调控功能的薄膜结构,其特征在于,所述的相变材料为锗锑碲。

4.根据权利要求1所述的具有多级调控功能的薄膜结构,其特征在于,所述的铝层厚度为100纳米,锗锑碲厚度为50纳米,二氧化钒厚度为80纳米。

5.根据权利要求1所述的具有多级调控功能的薄膜结构,其特征在于,所述的相变层以磁控溅射制备,MIT层以化学方法制备。

6.根据权利要求1所述的具有多级调控功能的薄膜结构,其特征在于,在温度调控过程中所述相变材料和金属-绝缘体材料相互独立,各自转变,互不影响。

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