[发明专利]一种真空泵检测用稳定性好的负压传感器

说明书

本发明公开了一种真空泵检测用稳定性好的负压传感器，包括外壳、应变片和电路总成，所述应变片与电路总成之间通过应变片内部的引出线电性连接，所述外壳内部的顶端固定连接有负压仓，且外壳内部靠近负压仓的下侧设置有密封管，所述密封管与外壳内壁之间固定连接有密封环，且密封管的内部滑动连接有活塞杆，本发明涉及真空泵检测技术领域。该真空泵检测用稳定性好的负压传感器，结构简单，成产成本低，在负压的情况下，活塞杆会沿着负压仓滑动，从而带动应变杆对橡胶垫施加作用力，从而让应变片发生形变，通过转动调整转盘，可以调整应变杆的位置，在使用负压传感器之前可以对其进行调整，从而可以提高检测的准确度。

技术领域

本发明涉及真空泵检测技术领域，具体为一种真空泵检测用稳定性好的负压传感器。

背景技术

真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。真空泵在使用时，需要对其进行定期检测，在检测时，需要使用负压传感器检测真空泵的性能和准确度。

中国专利公布了一种矿用负压传感器(公开号：CN202471333U)，包含负压敏感元件、数字调零及信号放大电路、PLC控制器、输出控制电路和显示器，负压敏感元件与数字调零及信号放大电路相连，PLC控制器分别与数字调零及信号放大电路、输出控制电路和显示器相连。

中国专利公布了一种压力传感器(公开号：CN100417928C)，包括金属杆，其具有根据施加的压力而变形的隔膜片；以及半导体基板，其中绝缘层插入在第一和第二半导体层之间。多个应变片形成在半导体基板的第一半导体层的预定区域，用于将隔膜片的弯曲转变为电信号。在该压力传感器中，所述应变片具有这样的图案形状，所述图案形状彼此之间被沟槽绝缘且间隔开，其中每个沟槽都从第一半导体层的表面延伸到绝缘层。

现有的负压传感器的结构复杂，生产成本较高，在使用负压传感器之前，需要对其进行校准，以提高检测真空泵时的准确度，并且真空泵在检验时，会将空气吸走，从而会改变检验装置内部的压强，所以需要将负压传感器进行良好的固定，防止在检验时负压传感器发生掉落，导致影响检验数据。

发明内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供了一种真空泵检测用稳定性好的负压传感器，解决了现有的负压传感器的结构复杂，生产成本较高，在使用负压传感器之前，需要对其进行校准，以提高检测真空泵时的准确度，并且真空泵在检验时，会将空气吸走，从而会改变检验装置内部的压强，所以需要将负压传感器进行良好的固定，防止在检验时负压传感器发生掉落，导致影响检验数据的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种真空泵检测用稳定性好的负压传感器，包括外壳、应变片和电路总成，所述应变片与电路总成之间通过应变片内部的引出线电性连接，所述外壳内部的顶端固定连接有负压仓，且外壳内部靠近负压仓的下侧设置有密封管，所述密封管与外壳内壁之间固定连接有密封环，且密封管的内部滑动连接有活塞杆，所述活塞杆的顶端位于负压仓的内部，且活塞杆与负压仓之间紧密贴合，所述密封管上表面的边缘与外壳的顶部之间固定连接有隔板，所述隔板和外壳的侧壁均固定连接有内环，所述内环的上侧固定连接有橡胶垫，所述应变片粘附在橡胶垫的上表面，所述电路总成固定连接在应变片上侧外壳的顶部；

所述活塞杆底端的外侧固定连接有连接杆，所述连接杆上表面固定连接有应变杆，所述应变杆贯穿密封环，且应变杆的顶端紧贴在橡胶垫的下侧，所述活塞杆和连接杆的下表面均固定连接有滑动杆，所述滑动杆的内部滑动连接有固定杆，所述固定杆的底端与外壳固定连接，且滑动杆和固定杆的外侧均套设有连接弹簧，所述连接弹簧的两端分别与活塞杆、连接杆和外壳固定连接。