[发明专利]一种多场原位透射电子显微镜样品杆

权利要求书

1.一种多场原位透射电子显微镜样品杆，其特征在于，包括杆身（1），所述杆身（1）上设置有用于实现双倾功能的双倾驱动装置（2）和用于实现对样品进行测试的测试装置（3），所述杆身（1）的两端分别设置有驱动外壳（101）和测试基架（102），所述杆身（1）内部为中空的杆身空腔（103），所述驱动外壳（101）内部为中空的驱动空腔（104），所述驱动空腔（104）与杆身空腔（103）相通；

所述双倾驱动装置（2）包括双倾驱动电机（201）、牵引线（202）和样品台（203），所述双倾驱动电机（201）设置于驱动空腔（104）内，所述牵引线（202）穿设于杆身空腔（103）内，所述样品台（203）通过样品台转轴（204）设置于测试基架（102）上，所述样品台转轴（204）沿杆身（1）的径向设置，且所述样品台转轴（204）从样品台（203）中间穿过，所述双倾驱动电机（201）的输出端连接有拨杆（205），所述拨杆（205）连接有杠杆（206），所述杠杆（206）连接有杠杆转轴（207），所述杠杆转轴（207）与牵引线（202）相连，所述牵引线（202）与样品台（203）相连；

所述双倾驱动装置（2）还包括复位弹簧（208），所述复位弹簧（208）一端固定在测试基架（102）上，另一端压在样品台（203）上

所述测试装置（3）包括用于对样品施压测压的测试探针（301）、用于驱动测试探针（301）移动的三维驱动组件、用于改变样品光照的光纤（302）、以及用于控制样品温度和电学条件的加热电学芯片（303），所述测试探针（301）正对着样品台，所述测试探针（301）连接有测力芯片（304），所述光纤（302）沿测试基架（102）探伸到样品前方，且所述光纤（302）的一端对准样品，所述加热电学芯片（303）固定在样品台（203）上，所述加热电学芯片（303）的两端设置有电学控制电极（305）；

所述测试基架（102）上设置有接线板（317），所述接线板（317）的前端设置有若干个弯曲探针（318），所述的弯曲探针（318）与加热电学芯片（303）后端的电极紧密接触，所述弯曲探针（318）拥有弹力，用于对样品施加、测量电压/电流以及用于固定加热电学芯片（303）；

所述三维驱动组件包括穿设于杆身空腔（103）内的拉杆（306），所述杆身空腔（103）内设置有用于固定拉杆（306）及实现密封的密封装置（307），所述拉杆（306）的一端通过X方向压电陶瓷（308）和YZ方向压电陶瓷（309）与测力芯片（304）相连。

2.根据权利要求1所述的一种多场原位透射电子显微镜样品杆，其特征在于，所述三维驱动组件还包括设置于驱动空腔（104）内的三维移动底座（310），所述拉杆（306）延伸至驱动空腔（104）内且与三维移动底座（310）相连，所述驱动外壳（101）上设置有第一三维驱动（311）、第二三维驱动（312）和第三三维驱动（313），所述第一三维驱动（311）和第二三维驱动（312）的输出端与三维移动底座（310）的前端接触，所述第三三维驱动（313）的输出端与三维移动底座（310）的后端接触。

3.根据权利要求1所述的一种多场原位透射电子显微镜样品杆，其特征在于，所述密封装置（307）为密封轴承，所述密封轴承固定在杆身空腔（103）内，其内部拥有两个卡槽，卡槽内分别装有第二密封圈（315）和第三密封圈（316），位于密封轴承内的拉杆（306）上设置有一卡槽，该卡槽内装有第一密封圈（314）。

4.根据权利要求1所述的一种多场原位透射电子显微镜样品杆，其特征在于，所述杆身空腔（103）内设置有穿线管（105），所述穿线管（105）延伸至驱动空腔（104）内，所述驱动外壳（101）上设置有外接头（106），所述样品杆内部的电线通过穿线管（105）连接到外接头（106）上，并通过外接头（106）与外界设备相连。