[发明专利]离子空间分布的检测方法和系统有效

专利信息
申请号: 201910627199.3 申请日: 2019-07-10
公开(公告)号: CN110739199B 公开(公告)日: 2022-03-01
发明(设计)人: 陈宗祺 申请(专利权)人: 萨默费尼根有限公司
主分类号: H01J49/06 分类号: H01J49/06;H01J49/26;G01N27/626
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 陈洁;何焜
地址: 美国加利*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 离子 空间 分布 检测 方法 系统
【权利要求书】:

1.一种用于四极杆质量分析器的离子检测系统,其包括:

包括前面和后面的微通道板堆叠,所述堆叠设置成在所述前面接收来自所述四极杆的出口孔的离子通量并在所述后面响应于接收的离子通量发射电子通量;

闪烁体,其具有前表面和后表面,并设置成在所述前表面接收所述电子通量,并在所述后表面响应于所接收的电子通量发射光子通量;

配置成接收所述光子通量的光成像器;

电源;和

第一、第二和第三电极,其连接到所述电源并分别设置在所述前面、后面和第一表面上,

其中所述闪烁体包括磷光材料的单晶板,

其中所述闪烁体和所述微通道板堆叠中的至少一个在其中包括编码的预老化模式,所述编码的预老化模式设置成相对于所述四极杆的一组杆电极预先确定的对准,使得所述编码的预老化模式对应于来自所述四极杆的预期离子通量模式。

2.根据权利要求1所述的离子检测系统,其中所述单晶板的厚度小于或等于1毫米。

3.根据权利要求1所述的离子检测系统,其中所述磷光材料是铈掺杂的钆铝镓石榴石(Ce:GAGG)。

4.根据权利要求1所述的离子检测系统,其中所述磷光材料是铈掺杂的钇铝石榴石(Ce:YAG)。

5.根据权利要求1所述的离子检测系统,还包括:

电子控制器,

其中所述电源被配置为响应于从所述电子控制器接收的控制信号,将单独的独立直流(DC)电压施加到所述四极杆的至少一对径向相对的杆电极上。

6.根据权利要求1所述的离子检测系统,还包括:

电子控制器,

其中所述电源被配置为响应于从所述电子控制器接收的控制信号,施加相反相位的共振激发交流AC电压波形在所述四极杆的一对杆上,所述AC电压波形包括匹配所选择的离子种类在所述四极杆内的振荡频率的频率。

7.根据权利要求1所述的离子检测系统,还包括:

电子控制器,

其中所述电源被配置为响应于从所述电子控制器接收的控制信号,施加包括第一相位的共振激发交流AC电压波形到所述四极杆的一对x杆的两者上,

其中所述电源被配置为响应于所述控制信号,施加包括与第一相位相反的第二相位的共振激发交流AC电压波形到所述四极杆的一对y杆的两者上,

其中所述AC电压波形包括匹配所选择的离子种类在所述四极杆内的振荡频率的频率。

8.根据权利要求1所述的离子检测系统,还包括:

电子控制器;和

致动器,其耦合到所述闪烁体和所述微通道板堆叠中的至少一个,

其中所述致动器配置成响应于从所述电子控制器接收的控制信号,重新定位所述闪烁体和所述微通道板堆叠中的所述至少一个。

9.根据权利要求1所述的离子检测系统,其中所述微通道板堆叠包括至少三个微通道板。

10.一种进行质谱分析的方法,包括:

(a)使离子流通过包括一组杆电极的四极杆质量分析器;

(b)在微通道板堆叠的前面截取从所述四极杆质量分析器的出口孔处发射的离子通量,并响应于在所述微通道板堆叠的后面截取的离子通量而发射电子通量;

(c)在包括磷光材料的单晶板的闪烁体的前表面处截取所述电子通量,并响应于在所述闪烁体的后表面处截取的电子通量而发射光子通量;和

(d)在光成像器处接收所述光子通量,

其中所述离子通量在前面被截取,该前面在其中具有编码的预老化模式,所述编码的预老化模式设置成相对于所述一组杆电极预先确定的对准,使得所述编码的预老化模式对应于来自所述四极杆质量分析器的预期离子通量模式。

11.根据权利要求10所述的进行质谱分析的方法,其中在闪烁体的前表面截取所述电子通量包括在铈掺杂的钆铝镓石榴石(Ce:GAGG)的单晶板的前表面截取电子通量。

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