[发明专利]一种BAW滤波器

权利要求书

1.一种BAW滤波器，其特征在于，包括；

基板；

第一电极，所述第一电极位于所述基板的第一面上；

压电层，所述压电层位于所述第一电极远离所述基板的一面上；

第二电极，所述第二电极位于所述压电层远离所述第一电极的一面上；

其中，所述第一电极和所述第二电极的材质为低熔点金属，所述低熔点金属为熔点在300℃以下的金属单质、合金、上述金属单质和合金的混合物、或者以上述金属单质和/或合金为主要成分的可固化导电流体。

2.根据权利要求1所述的BAW滤波器，其特征在于，通过丝网印刷、钢网印刷、移印、凹版印刷、凸版印刷、柔版印刷中的一种或几种，使用所述低熔点金属制成所述第一电极和/或所述第二电极。

3.根据权利要求1所述的BAW滤波器，其特征在于，熔点在300℃以下的金属单质为镓单质、铟单质、锡单质、钠单质、钾单质、铷单质、铯单质、锌单质、铋单质中的一种；

熔点在300℃以下的合金为镓铟合金、镓铟锡合金、镓锡合金、镓锌合金、镓铟锌合金、镓锡锌合金、镓铟锡锌合金、铋铟合金、铋锡合金、铋铟锡合金、铋铟锌合金、铋锡锌合金、铋铟锡锌合金中的一种或几种。

4.根据权利要求1～3任一项所述的BAW滤波器，其特征在于，所述压电层至少一面为非平面。

5.根据权利要求4所述的BAW滤波器，其特征在于，所述第一电极远离所述基板的一面为平面，所述压电层具有至少两个不同厚度的部分。

6.根据权利要求4所述的BAW滤波器，其特征在于，所述第一电极远离所述基板的一面为非平面，所述压电层具有至少两个不同厚度的部分。

7.根据权利要求4所述的BAW滤波器，其特征在于，所述第一电极远离所述基板的一面为非平面，且所述压电层远离所述基板的一面的形状，与所述第一电极远离所述基板的一面的形状相同，所述压电层的厚度一致。

8.根据权利要求7所述的BAW滤波器，其特征在于，所述基板由厚度一致的柔性基板变形后所得，所述第一电极、所述压电层和所述第二电极均位于所述基板发生变形的区域内。

9.根据权利要求4所述的BAW滤波器，其特征在于，所述压电层远离所述第一电极的一面包括折面、圆柱面、圆锥面、椭圆柱面、椭圆锥面、双曲抛物面、锥状面、柱状面、球面或者环面中的一种或几种。

10.根据权利要求1～3任一项所述的BAW滤波器，其特征在于，还包括绝缘支撑件和位于所述基板上的第二电极连接线，所述绝缘支撑件至少位于所述第一电极和所述压电层一侧，所述第二电极搭接于所述绝缘支撑件上，所述绝缘支撑件上设置有通孔，所述第二电极通过位于所述通孔内的电连接件与所述第二电极连接线连接。