[发明专利]具有叉指型平面电容器的流体液位传感器装置

权利要求书

1.一种用于直接插入油基流体的流体液位传感器装置，所述装置包括感测元件，所述感测元件包括：

多个电极，所述多个电极安装在基板的一侧上，所述多个电极形成至少两个叉指型平面电容器，其中，所述叉指型平面电容器中的一个叉指型平面电容器的电容根据流体腔内的所述油基流体的液位而变化；

钝化层，所述钝化层覆盖所述两个叉指型平面电容器；以及

疏油涂层，所述疏油涂层覆盖玻璃阻挡层。

2.根据权利要求1所述的装置，还包括金属屏蔽，所述金属屏蔽包围所述感测元件，并且减少来自所述金属屏蔽外部的对所述两个叉指型平面电容器的干扰；其中，所述金属屏蔽和所述感测元件之间的区域形成所述流体腔。

3.根据权利要求2所述的装置，其中，所述金属屏蔽包括用于在所述金属屏蔽内支撑所述感测元件的一个或多个元件。

4.根据权利要求2所述的装置，其中，所述金属屏蔽包括至少一个入口孔，流体能够通过所述入口孔从流体容器流入所述流体腔。

5.根据权利要求2所述的装置，其中，所述金属屏蔽包括多个柔性尾部，所述柔性尾部能够在组装期间被铆紧以闭合所述金属屏蔽的底部。

6.根据权利要求2所述的装置，其中，所述金属屏蔽包括至少一个通风孔。

7.根据权利要求2所述的装置，还包括用于插入所述金属屏蔽的底部的支撑帽，所述支撑帽包括用于在所述金属屏蔽内支撑所述感测元件的狭槽。

8.根据权利要求1所述的装置，其中，所述疏油涂层包括氟化硅烷。

9.根据权利要求1所述的装置，其中，另一叉指型平面电容器用作参考电容器，所述参考电容器被配置为提供对所述流体腔内的所述油基流体的介电常数的估计。

10.根据权利要求1所述的装置，还包括耦合到所述多个电极的信号处理电路，所述信号处理电路用于将由所述电极形成的任何电容器的电容值转换为电信号，并且处理所述电信号以提供指示所述流体腔内的所述油基流体相对于所述装置的液位的输出信号。

11.一种用于直接插入油基流体的流体液位传感器装置，所述装置包括：

感测元件，所述感测元件包括多个电极，所述多个电极安装在基板的一侧上，所述多个电极形成至少两个叉指型平面电容器，其中，所述叉指型平面电容器中的一个叉指型平面电容器的电容根据流体腔内的所述油基流体的液位而变化；以及

金属屏蔽，所述金属屏蔽减少来自所述金属屏蔽外部的对所述两个叉指型平面电容器的干扰，并且所述金属屏蔽包括用于在所述金属屏蔽内支撑所述感测元件的一个或多个元件。

12.根据权利要求11所述的装置，其中，所述感测元件还包括：

钝化层，所述钝化层覆盖所述两个叉指型平面电容器；以及

疏油涂层，所述疏油涂层覆盖玻璃阻挡层。

13.根据权利要求12所述的装置，其中，所述疏油涂层包括氟化硅烷。

14.根据权利要求11所述的装置，其中，另一叉指型平面电容器用作参考电容器，所述参考电容器被配置为提供对所述流体腔内的所述油基流体的介电常数的估计。

15.根据权利要求11所述的装置，其中，所述金属屏蔽和所述感测元件之间的区域形成所述流体腔。

16.根据权利要求11所述的装置，其中，所述金属屏蔽包括至少一个入口孔，流体能够通过所述入口孔从流体容器流入所述流体腔。