[发明专利]一种驱动电路、驱动方法及微反射镜阵列

说明书

本发明公开了一种驱动电路，所述驱动电路包括逻辑控制单元、数模选择器、数模转换器、支路选择器和电压输出支路；所述电压输出支路与微反射镜连接；每个所述数模转换器连接有多个所述电压输出支路；所述数模选择器连接有多个所述数模转换器；所述支路选择器设置于所述逻辑控制单元和所述电压输出支路之间，所述支路选择器用于选通对应的电压输出支路工作；所述逻辑控制单元与所述数模选择器连接，所述逻辑控制单元还与所述电压输出支路连接。本发明还公开了一种驱动方法及微反射镜阵列。采用本发明，具有能够降低电路的功耗和面积，有利于降低IC的成本；以及实现微反射镜阵列的偏转角度连续可调和偏转姿势长时间保持的优点。

技术领域

本发明涉及驱动电路，具体涉及微反射镜阵列的驱动电路，特别涉及一种用于电容式MEMS微反射镜阵列的驱动电路。

背景技术

MEMS微反射镜阵列是一类重要器件，由于其尺寸微小、镜面的定向和控制结构可单片集成,故可以方便地与其他光、机、电部件结合而应用于汽车照明系统、自适应光学系统、无掩模光刻系统及投影与显示系统等。德州仪器公司的DLP(Digital LightProcessor)投影仪使用50至130万个微反射镜片DMD(Digital Micromirror Device)聚集在CMOS硅基片上作为一幅图像的像素，每一片微镜片表示一个像素。微镜片的转动受控于来自CMOS RAM的数字驱动信号。当数字信号被写入SRAM时，如SRAM的数字信号为1时微镜片倾斜+12°，当数字信号为0时微镜片处于非投影状态，倾斜-12°。依靠静电驱动控制光照的方向，使光偏转固定的角度来实现投影显示的应用，实现具有数字灰度等级的精细图像质量，分辨率高，亮度可调节范围更广。

但是，其在实际应用时仍存在一定的问题。比如，其镜片的倾斜只能为+12°或-12°，不能够进行连续调节。另外，由于其微反射镜数目较多，其驱动电路所需的器件也较多，实际占用空间较大，功耗也较大。

发明内容

本发明提供了一种驱动电路、驱动方法用来驱动微反射镜阵列，可以实现微反射镜的连续偏转和偏转姿势的长时间保持，以及减小驱动电路的面积以及降低其功耗。

第一方面，本发明提供了一种驱动电路，所述驱动电路包括逻辑控制单元、数模选择器、数模转换器、支路选择器和电压输出支路；

所述电压输出支路与微反射镜连接；

每个所述数模转换器连接有多个所述电压输出支路；所述数模选择器连接有多个所述数模转换器；

所述支路选择器设置于所述逻辑控制单元和所述电压输出支路之间，所述支路选择器用于选通对应的电压输出支路工作；

所述逻辑控制单元与所述数模选择器连接，所述逻辑控制单元还与所述电压输出支路连接。

进一步的，所述驱动电路还包括多个采样保持器和多个采样保持选择器；

每个所述电压输出支路的输入端设有一个所述采样保持器，所述采样保持器用于采样和保持所述数模转换器的输出电压；

所述采样保持选择器设置于所述逻辑控制单元和所述采样保持器之间，所述采样保持选择器用于选通对应的采样保持器工作。

进一步的，所述电压输出支路包括缓冲模块、电压放大模块和电压输出模块；

所述缓冲模块、所述电压放大模块和所述电压输出模块依次连接，

所述缓冲模块、所述电压放大模块和所述电压输出模块皆与所述逻辑控制单元连接。

进一步的，所述电压输出模块包括第一输出端、第二输出端和输出选择单元；

所述第一输出端和所述第二输出端分别与所述输出选择单元连接，

所述输出选择单元用于在所述第一输出端和所述第二输出端之间切换电压的输出端。