[发明专利]更换光刻胶瓶罐的车辆、电脑系统及更换方法

说明书

本公开叙述一种更换光刻胶瓶罐的车辆、电脑系统及更换方法。示例性的车辆包括一处理器，配置以接收一请求信号，以更换一第一光刻胶瓶罐。处理器亦配置以传递基于请求信号的一指令。车辆亦包括多个车轮，配置以从第一地点移动车辆至一第二地点、及从第二地点移动车辆至第一地点。车辆还包括一机械手臂，配置以在第一地点装载第一光刻胶瓶罐至一第一容器中；装载一第二光刻胶瓶罐至一第二容器中；从第二光刻胶瓶罐移除一盖部及从第一光刻胶瓶罐移除一套筒；耦接第一光刻胶瓶罐的套筒至第二光刻胶瓶罐；及从第二容器卸载第二光刻胶瓶罐。

技术领域

本公开实施例涉及一种车辆及电脑系统，特别涉及一种更换光刻胶瓶罐的车辆及电脑系统。

背景技术

光刻胶(Photoresist，PR)为半导体工业中重要的元素。光刻胶使用在半导体制造过程的各个阶段，以在晶圆上形成图案。光刻胶瓶罐(例如含有使用于半导体制造的光刻胶的瓶罐)已被手动更换，以再填充/更换光刻胶。然而，光刻胶瓶罐的手动更换可为耗费时间且昂贵的，且可容易受到人为错误及损坏的影响。

发明内容

本公开实施例提供一种车辆，用于更换光刻胶瓶罐，包括一处理器、多个车轮以及一机械手臂。处理器配置以：接收更换一第一光刻胶瓶罐的一请求信号，其中请求信号包括关联于第一光刻胶瓶罐的一第一地点、以及基于请求信号而传递一指令。车轮配置以从第一地点移动车辆至一第二地点，且从第二地点移动车辆至第一地点。机械手臂配置以在第一地点装载第一光刻胶瓶罐至一第一容器中、在第二地点装载一第二光刻胶瓶罐至一第二容器中、从第二光刻胶瓶罐移除一盖部，且从第一光刻胶瓶罐移除一套筒、耦接第一光刻胶瓶罐的套筒至第二光刻胶瓶罐、以及在第一地点从第二容器卸载第二光刻胶瓶罐。

本公开实施例提供一种电脑系统，用于更换一光刻胶瓶罐，包括一存储器以及一处理器。存储器配置以存储更换光刻胶瓶罐的一程序及数据。处理器配置以：接收更换一第一光刻胶瓶罐的一请求信号，其中请求信号包括关联于第一光刻胶瓶罐的一第一地点、发送一车辆至第一地点、以及控制车辆以：装载第一光刻胶瓶罐至车辆上、运输第一光刻胶瓶罐至一第二光刻胶瓶罐所在的一第二地点、装载第二光刻胶瓶罐至车辆上、移除第二光刻胶瓶罐的一盖部及第一光刻胶瓶罐的一套筒、耦接第一光刻胶瓶罐的套筒至第二光刻胶瓶罐上、以及运输第二光刻胶瓶罐至第一地点。

本公开实施例提供一种更换方法，用于使用一车辆以更换一光刻胶瓶罐，包括：接收更换一第一光刻胶瓶罐的一请求信号，其中请求信号包括关联于第一光刻胶瓶罐的一第一地点、移动至第一地点、装载第一光刻胶瓶罐、运输第一光刻胶瓶罐至关联于一第二光刻胶瓶罐的一第二地点、装载第二光刻胶瓶罐、从第二光刻胶瓶罐移除一盖部，且从第一光刻胶瓶罐移除一套筒、耦接第一光刻胶瓶罐的套筒至第二光刻胶瓶罐、以及运输第二光刻胶瓶罐至第一地点。

附图说明

根据以下的详细说明并配合说明书附图可最好地了解本公开的形式。应注意的是，根据产业中的一般作业，各种特征未按比例绘制。事实上，可任意增加或减少各种特征的尺寸，以清楚说明和讨论。

图1示出根据一些实施例的示例性的光刻胶更换系统。

图2A示出根据一些实施例的示例性的夹钳结构的俯视图。

图2B示出根据一些实施例的在光刻胶更换过程的操作中的示例性的夹钳结构的俯视图。

图3A示出根据一些实施例的在光刻胶更换过程的操作中的示例性的光刻胶更换系统。

图3B示出根据一些实施例的在光刻胶更换过程的另一操作中的示例性的光刻胶更换系统。

图4示出根据一些实施例的光刻胶更换过程的示例性的处理流程。

图5为用来实施各种实施例的示例电脑系统的视图。

附图标记说明：

100 系统

101 车辆本体