[发明专利]一种含氟化氢和氯化氢尾气冷凝回收装置及工艺

权利要求书

1.一种含氟化氢和氯化氢尾气冷凝回收装置，其特征是：包括液氮冷凝凝器，其用于将废气进行冷凝，液氮冷凝器的进气口与废气连通、出气口与吸附装置或压缩机的进口连通，液氮冷凝器的液体出口与存放罐的进口连通，从而将液氮冷凝器冷凝后的液态HF输入存放罐内存储。

2.如权利要求1所述的含氟化氢和氯化氢尾气冷凝回收装置，其特征是：所述压缩机用于将气态的HCL压缩，然后通过气瓶存储，获得工业级钢瓶气。

3.如权利要求1所述的含氟化氢和氯化氢尾气冷凝回收装置，其特征是：所述吸附装置用于吸附气体中的HF，高纯度的HCL通过压缩机压缩进气瓶后获得高纯度级钢瓶气。

4.如权利要求1或3所述的含氟化氢和氯化氢尾气冷凝回收装置，其特征是：所述吸附装置包括两个氧化铝吸附罐，氧化铝吸附罐择一使用，所述氧化铝吸附罐包括外箱、内箱，内箱安装在外箱内部且内箱与外箱内壁之间构成保温间隙，保温间隙内安装有第一线圈；

所述内箱内固定有至少两块加热板，加热板上设置有过气孔、加热条，且内箱内部填充有氧化铝，氧化铝用于吸附VOC；所述内箱内侧顶部分别与第一副接入管、第二副接入管、第三副接入管一端连通，内箱内侧底部分别与第一接入管、第二接入管、第三接入管一端连通；

所述进气管与第一换向阀的进口连通，第一换向阀的第一出口、第二出口分别与两个氧化铝吸附罐的第一副接入管另一端连通，且使用时第一换向阀用于择一将其进口与其中一个第一副接入管连通；第一接入管与第一单向阀的进口连通、第一单向阀出口与排气管连通，从而将处理后的气体输出。

5.如权利要求4所述的含氟化氢和氯化氢尾气冷凝回收装置，其特征是：所述第二副接入管与第四单向阀的进口连通，第四单向阀的出口与冷凝器的冷凝接入口连通，冷凝器的冷凝接出口与存储罐的进口连通；所述第二接入管与第二单向阀的进口连通，第二单向阀的出口与存储罐的进口连通；所述第三副接入管与第三单向阀的进口连通，第三单向阀的出口与冷凝器的冷凝接入口连通。

6.如权利要求5所述的含氟化氢和氯化氢尾气冷凝回收装置，其特征是：两个氧化铝吸附罐的第三接入管另一端分别与第二换向阀的第一出口、第二出口连通，第二换向阀的进口与蒸汽泵的出口连通，蒸汽泵属于蒸汽系统，蒸汽系统还包括增压水泵，增压水泵的进口与水源连通、出口与雾化器的进口连通，雾化器用于将水雾化，且雾化器的出口与第三换向阀的第一进口连通，第三换向阀的第二进口与外部气源连通，第三换向阀的出口与与加热器的加热间隙一端连通，第三换向阀用于择一使其第一进口、第二进口与其出口连通；

加热器包括第二外壳、第二外壳，第一外壳与第二外壳之间构成安装间隙，安装间隙内安装有第二线圈，所述第二外壳内安装有交错设置的第一加热挡板、第二加热挡板，第一加热挡板、第二加热挡板之间构成加热间隙，加热间隙另一端与蒸汽泵的进口连通；

所述第一加热挡板、第二加热挡板采用铁质材料制成，所述第二线圈内通入交变电流，第二换向阀择一与其中一个第三接入管连通。

7.如权利要求6所述的含氟化氢和氯化氢尾气冷凝回收装置，其特征是：保温间隙内填充有保温材料；安装间隙填充隔热棉。

8.一种含氟化氢和氯化氢尾气冷凝回收工艺，其特征是：包括如下步骤：

S1、将混合油HF、HCL的废气输入液氮冷凝器中，通过液氮冷凝器将废气降温至-98℃，使得HF液化、HCL保持气态；

S2、将液相输出存储，将分离后的气体输出进行进一步处理。

9.如权利要求8所述的含氟化氢和氯化氢尾气冷凝回收工艺，其特征是：S2中，分离后的气体输入压缩机内，经压缩装瓶，获得工业级HCL钢瓶气。

10.如权利要求8所述的含氟化氢和氯化氢尾气冷凝回收工艺，其特征是：S2中，分离后的气体经过多级氧化铝吸附罐吸附后获得高纯度HCL，获得高纯度级HCL气体。