[发明专利]一种缓蚀复合物、缓蚀剂、缓蚀阻焦剂及制备方法有效
| 申请号： | 201910631918.9 | 申请日： | 2019-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN110295369B | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 施宝昌;王勤娜;施江平;施海平 | 申请（专利权）人： | 北京烃化高分子助剂研究所有限责任公司 |
| 主分类号： | C10G75/02 | 分类号： | C10G75/02;C23F11/14;C01G75/04;C10G7/10 |
| 代理公司： | 成都顶峰专利事务所(普通合伙) 51224 | 代理人： | 左正超 |
| 地址： | 100000 北京市门*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 复合物 缓蚀剂 缓蚀阻焦剂 制备 方法 | ||
1.一种缓蚀复合物，其特征在于：所述缓蚀复合物由如下按质量分数计的组分混合而成：缓蚀剂A：50-90％，余量为缓蚀剂B；所述缓蚀剂A为有机胺类化合物；
所述缓蚀剂A的分子结构式如下：
其中，(1)中的R1和R2均为乙撑基，所述乙撑基的数量为1-3个，n的数量为1-3个，m的数量为1-3个；
所述缓蚀剂B为吡啶衍生物；所述缓蚀剂B的分子结构式如下：
其中，(2)的R1-R4中至少一个选自烷基或环烷基。
2.一种使用权利要求1所述的一种缓蚀复合物的缓蚀剂，其特征在于：由如下按质量分数计的原料复配而成：缓蚀复合物15-30％、抗氧化剂1-5％、余量为溶剂。
3.根据权利要求2所述的缓蚀剂，其特征在于：所述抗氧化剂为三异丙醇胺或二氧化硫脲；所述溶剂为脱盐水。
4.一种使用权利要求1所述的一种缓蚀复合物的缓蚀阻焦剂，其特征在于：由如下按质量分数计的原料复配而成：缓蚀复合物20-40％、抗氧化剂4-10％、阻焦剂5-10％、余量为溶剂。
5.根据权利要求4所述的缓蚀阻焦剂，其特征在于：所述抗氧化剂为三异丙醇胺或二氧化硫脲。
6.根据权利要求5所述的缓蚀阻焦剂，其特征在于：所述阻焦剂为双环羟胺或聚烯烃单酰胺。
7.根据权利要求5或6所述的缓蚀阻焦剂，其特征在于：所述溶剂为脱盐水。
8.一种权利要求4所述的一种缓蚀阻焦剂的制备方法，其特征在于：包括步骤：搅拌状态下，将缓蚀复合物、抗氧化剂和阻焦剂用温度为15-45℃的溶剂溶解，得到缓蚀阻焦剂。
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