[发明专利]一种氦液化及不同温度等级氦气冷源供给装置

权利要求书

1.一种氦液化及不同温度等级氦气冷源供给装置，它包括集成换热器、氦气压缩机、高/低温氦气膨胀机、J-T节流阀、真空杜瓦罐、气液分离罐、流路截止阀，其特征在于所述氦气压缩机（1）进口分别连接氦气缓冲罐（3）进口、截止阀（2）进口、复温氦气截止阀（7）出口、氦气补充截止阀（78）出口，氦气补充截止阀（78）进口连接氦气源，所述氦气压缩机（1）出口通过压缩氦气止回阀（4）分别连接氦气缓冲罐（3）出口截止阀（5）出口、水冷却器（6）进口，水冷却器（6）出口通过压缩氦气截止阀（8）连接集成换热器（9）热端进口HXI1，所述集成换热器（9）热端出口HXO1分别连接高温杂质吸附器（11）进口截止阀（10）进口、旁通截止阀（12）进口;截止阀（10）出口连接高温杂质吸附器（11）出口连接截止阀（13）进口，截止阀（13）出口分别连接旁通截止阀（12）出口、集成换热器（9）热端进口HXI2、截止阀（34）进口;集成换热器（9）热端出口HXO2分别连接集成换热器（9）热端进口HXI3、高温膨胀机（14）进口截止阀（15）进口、截止阀（35）进口;截止阀（15）出口连接高温膨胀机（14）进口，高温膨胀机（14）出口连接集成换热器（9）热端进口EXI1;集成换热器（9）热端出口EXO1连接低温膨胀机（19）进口截止阀（18）进口，截止阀（18）出口连接低温膨胀机（19）进口;低温膨胀机（19）出口分别连接截止阀（30）出口、集成换热器（9）冷端进口CXI5。

2.根据权利要求1所述的氦液化及不同温度等级氦气冷源供给装置，其特征在于所述集成换热器（9）的热端出口HXO3分别连接集成换热器（9）的热端进口HXI4、截止阀（36）进口，所述集成换热器（9）热端出口HXO4连接低温杂质吸附器（16）进口，低温杂质吸附器（16）出口分别连接集成换热器（9）热端进口HXI5、截止阀（37）进口;集成换热器（9）热端出口HXO5连接低温节流阀（17）进口，低温节流阀（17）出口连接集成换热器（9）热端进口HXI6。

3.根据权利要求2所述的氦液化及不同温度等级氦气冷源供给装置，其特征在于所述集成换热器（9）的热端出口HXO6分别连接节流阀（20）进口、超临界氦节流阀（22）进口、截止阀（23）进口;节流阀（20）出口连接真空杜瓦（21）进口，超临界氦节流阀（22）出口连接气液分离器（24）进口，冷氦气截止阀（23）出口连接气液分离器（24）底部换热管进口;真空杜瓦（21）顶部气体出口分别连接气液分离器（24）顶部气体出口、集成换热器（9）冷端进口CXI6;气液分离器（24）超临界氦出口通过超临界氦截止阀25连接各种深冷环境需求（77）超临界氦进口;截止阀（34）出口、截止阀（35）出口、截止阀（36）出口、截止阀（37）出口共同连接各种深冷环境需求（77）进口，所述各种深冷环境需求（77）的出口、截止阀（28）进口连接氦气去气液分离器截止阀（26）进口，截止阀（26）出口连接气液分离器（24）气体进口，真空杜瓦（21）底部液体出口通过液氦截止阀（27）连接各种深冷环境需求（77）液氦进口;气液分离器（24）底部换热管出口、气液分离器（24）底部液体出口与各种深冷环境需求（77）进口连接;截止阀（28）出口分别连接各种深冷环境需求（77）气体出口、截止阀（30）进口、截止阀（31）进口、截止阀（32）进口、截止阀（33）进口。

4.根据权利要求3所述的氦液化及不同温度等级氦气冷源供给装置，其特征在于所述集成换热器（9）的冷端出口CXO5分别连接截止阀（31）出口、集成换热器（9）冷端进口CXI4;集成换热器（9）冷端出口CXO4分别连接截止阀（32）出口、集成换热器（9）冷端进口CXI3;集成换热器（9）冷端出口CXO3分别连接截止阀（33）出口、集成换热器（9）冷端进口CXI2;集成换热器（9）冷端出口CXO2连接复温氦气截止阀（7）进口;集成换热器（9）冷端进口CXI1连接液氮储罐，出口连接氮气管网。